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按所输送物料性质安排管道。管道应集中敷设,冷热管要隔开布置,在垂直排列时,热介质管在上,冷介质管在下;无腐蚀性介质管在上,有腐蚀性介质管在下;气体管在上,液体管在下;不经常检修管在上,检修频繁管在下;高温管在上,低温管在下;保温管在上,不保温管在下;金属管在上,非金属管在下。水平排列时,粗管靠墙,细管在外;低温管靠墙,热管在外,不耐热管应与热管避开;无支管的管在内,支管多的管在外;不经常检修的管在内,经常检修的管在外;高压管在内,低压管在外;输送有腐蚀性介质的管道,不得在人行通道上方设置阀件、法兰等,以免渗漏伤人;输送介质的管道,不得敷设在生活间、楼梯间和走廊等处;管道通过防破区时,墙壁应采取措施封固,蒸汽或气体管道应从主管上部引出支管。
测量和记录的数据应到1.0Pa。无尘布洁净车间厂家认为近年来,越来越多的食品厂开始考虑在内包装等领域建设洁净车间。建设洁净车间可以减少所生产产品的微生物污染,有效提高产品质量和生产效率。无尘布洁净车间厂家认为洁净厂房又称洁净车间、洁净室,是指为消掉一定空间内空气中的细颗粒物、有害空气、细菌等污染物,将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与分布、噪声与振动、照明、静电等控制在一定需求范围内而专门设计的房间。也就是说,无论外界空气条件如何变化,房间具有保持原来设定的洁净度、温湿度、压力等性能的特性。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时,冬季温度一般控制在冬季20—22℃;夏季温度一般控制在24—26℃;允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50%,夏季无尘车间湿度控制在50—70%。
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。