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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
地板:包括高架地板、EPOXY环氧树脂防静电地坪或防静电PVC地板。(5)照明器具:包括双管净化灯、日光灯、应急灯、出口灯、指示灯等。
(6)各类传递窗、风淋室、货淋室等净化设备安装工程；
(7)各类空调、恒温恒溼机、小型空调机组等安装工程；
无尘车间的结构组成说明:
1.无尘净化车间是由空气净化系统组成，形成了无尘车间的空气净化。主要控制无尘车间内空气灰尘微粒数，和细菌污染等。
物理灭菌:紫外灯（波长254nm）照射30分钟以上（人员撤离后）。重点关注区域:工作台面、门把手、传递窗。四、物料与设备管理 物料进出控制:物料通过传递窗（带双层互锁门）或灭菌隧道进入。外包装在缓冲间拆除，内包装需用酒精擦拭。 设备选型与维护:使用洁净室设备（如无尘工具、低发尘设备）。定期润滑、检修，机械磨损产生微粒。
、环境监测与数据分析实时监测系统:
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无尘车间技术（什么是无尘车间）通过无尘车间技术方面的各种设施和严格管理，使室内微粒子含量、气流、压力等也控制在一定范围内，这种房间空间称洁净室。
二、无尘车间技术的运用
1 微电子工业
微电子工业是当前对洁净室要求更高工业洁净业。此外，如现代工业中的液晶、光纤等的生产，同样均有洁净度的要求。
（1）品生产我国的《品生产管理规范》（又称GMP）已在全国范围内实施，对生产环境提出了相应于工艺过程的不同洁净级别要求。除了限定空气中尘埃粒子的大小和含量外，对生物粒子（细菌数）也有明确的限制。
原则:无尘车间里存在大量可以节约能源（解释:向自然界提供能量转化的物质)的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能（maybe)地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。率（efficiency)的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低（reduce)和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。