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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
无尘车间的定义无尘车间，顾名思义，是指在车间内部维持一定的洁净度，以减少或消除对产品的污染。它通过控制空气中的颗粒物浓度、温度、湿度、洁净度等因素，为生产过程提供一个洁净、稳定的环境。无尘车间的主要目的是产品质量，提高生产效率，并满足特定行业的相关要求。
二、无尘车间的等级划分
无尘车间的等级划分是根据标准ISO14644-1进行的。ISO14644-1是无尘车间洁净度等级的标准，它将无尘车间的洁净度分为9个等级，分别为ISO1至ISO9。其中，ISO1为比较高等级，洁净度比较高，ISO9为比较低等级，洁净度比较低。
综上所述，当产品对精度和质量要求高、行业对生产环境有严格要求、需要避免产品受到外部污染、追产和满足法规及市场需求时，建立无尘车间是必要的选择。无尘车间也称洁净车间，亦称洁净室、无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。
在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。
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纯臻净化百级无尘车间，如下图参数:无尘车间的应用范围.
一、无尘车间技术（什么是无尘车间）
通过无尘车间技术方面的各种设施和严格管理，使室内微粒子含量、气流、压力等也控制在一定范围内，这种房间空间称洁净室。
二、无尘车间技术的运用
1 微电子工业
微电子工业是当前对洁净室要求更高工业洁净业。此外，如现代工业中的液晶、光纤等的生产，同样均有洁净度的要求。
检测验的严苛流程1、气密性测试:采用ISO 14644-3标准，在50Pa压差下扫描检测，泄漏率≤0.01%vol/h。某存储芯片项目的测试报告记载，使用氦质谱检漏仪检测时，门系统整体泄漏量 2、洁净度验:依据GB 50073-2013标准，在动态运行状态下检测。数据显示，安装净化门窗后，操作区0.1μm粒径的悬浮粒子浓度≤10个/m3。 3、耐久性试验:模拟10万次启闭循环后，门扇下垂量≤1.5mm，密封性能衰减率≤5%。某跨国企业的企业标准要求，关键部件需通过MTBF(平均无故障时间)≥50万次的认。