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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
室内布要合理,避免交叉污染。设备布置应考虑操作便利性和维护方便。墙壁地面应采用不吸附粒子、易清洁的材料,如不锈钢、瓷砖等。严格控制进入无尘车间的人员。工作人员进入前需进行淋浴、更衣等程序,以去除身上的尘埃和微生物。同时,应定期对工作人员进行培训,提高其洁净意识。 物料进入无尘车间前需进行清洗、等处理,以降低粒子污染。同时,要控制物料的存储、搬运等环节,避免产生尘埃。无尘车间需控制温度、湿度、压差等环境参数。一般温度控制在18-22℃,湿度控制在40%60%.压尘控制可以外部污染物进入无尘车间。二、千级和百级无尘车间的区别 根据我国国家标准《洁净室》GB 50073-2013)洁净度等级分为千级、万级、十万级等。其中,千级无尘车间是指洁净度等级在1000粒子/立方米以下的洁净室;百级无尘车间是指洁净度等级在100粒子/立方米以下的洁净室。
(1)品生产我国的《品生产管理规范》(又称GMP)已在全国范围内实施,对生产环境提出了相应于工艺过程的不同洁净级别要求。除了限定空气中尘埃粒子的大小和含量外,对生物粒子(细菌数)也有明确的限制。(2)医院 白血病的治疗室、烧伤病房、外科手术室,根据条件用相应的洁净技术来空气中的细菌,对治疗起到环境保障作用。
(3)医学科学实验 对于实验动物的饲养、遗传工程等学科实验工程,也应该具备洁净环境,才能取得有效的成果。
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8、温度、湿度:10万级无尘室对温度、湿度无要求时,以穿着洁净服不产生舒适感为宜,温度一般控制在秋冬季20~22℃;春夏季24~26℃;波动±2℃。秋冬季洁净车间空气湿度控制在30-50%,春夏季洁净车间空气湿度控制在50-70%。9、配电:洁净室(区)内主要生产用地的一般照度值应300 LX;辅助工作室、人员清洗和材料清洗室、气闸室、过道等的照度值。应该是200~300Lx。洁净车间的建设标准与标准规范!
(三)门窗安装 安装特制的气密门窗,确保无尘车间的气密性良好,外界污染物进入。 (四)通风管道与过滤器安装
安装通风管道和过滤器,确保空气流通顺畅,净化系统运行正常。此步骤需注意系统的密封性,避免外界污染物进入。
(五)照明与电力系统安装安装防尘防爆灯具,以及必要的电力线路和插座,确保无尘车间内有的照明和电力供应。电气布线时要采用低烟无卤电线电缆等具有良好阻燃性能的线缆,保障人员。