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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
原则:无尘车间里存在大量可以节约能源（解释:向自然界提供能量转化的物质)的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能（maybe)地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。率（efficiency)的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低（reduce)和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。
持续维护和监控:无尘车间的清洁度和稳定性需要持续的维护和监控。这包括定期检查车间的空气质量、设备运行状况以及环境参数等。总的来说,无尘车间在提高产品质量和生产效率方面具有明显的优势,但同时也面临着高昂的运营成本和严格的管理要求的挑战。在实际应用中,企业需要明确自身的需求,进行合理的规划和设计,并加强人员培训和管理,以确保无尘车间的正常运行和持续优化。无尘车间，又称净化车间、无尘室或洁净室，可以清除空气中的尘埃、微粒和有害气体，并控制温湿度、流明度等参数，以适应产品的生产环境，避免不良品率居高不下，从而达到批量生产要求。本文将介绍无尘车间的等级分类及洁净度标准。
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十万级无尘车间的定义与特点十万级无尘车间，又称为ISO 7级无尘车间，是指在每立方米空气中，0.5微米及以上粒径的尘埃粒子数量不超过10万个。这种级别的无尘车间可以有效地控制尘埃粒子对产品质量的影响，产品的纯净度和性。 十万级无尘车间的主要特点包括: 严格的空气过滤系统:采用过滤器（HEPA或ULPA），对空气中的尘埃粒子进行有效过滤，确保洁净度达到要求。温湿度控制:通过空调系统，对车间内的温湿度进行控制，以满足不同产品和工艺的要求。静电防护:采用防静电地板、墙壁和工作台等材料，减少静电产生，降低对电子产品等敏感设备的影响。 照明和噪音控制:使用无影灯和隔音材料，创造一个舒适的工作环境，提高员工的工作效率。 十万级无尘车间的应用
6）噪声控制:一、动态检测时，万级无尘室内的噪音级不得超出70分贝A。
二、静态检测时，万级乱流无尘室的噪音级不能超出60分贝A。
7）送风方式:
气流组织10万级无尘室主要采用的送风方式有以下三种:
1、部孔板顶棚送风；
2、带扩散板空气过滤器顶棚送风；
3、上侧墙送风 等三种送风方式。