阳江医院无尘室车间18年专业团队
无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
人员与物流管理不当:缺乏独立的人员通道与物料通道,更衣室与缓冲间设置不合理,传递窗数量不足或位置错误。优化无尘车间空气流动和气流模式设计的建议: 选择合适的空气过滤器:确保空气过滤器能够去除空气中的微尘、细菌和等有害物质。 优化空气流动设计:确保空气从清洁区向较不清洁区单向流动,使空气在整个房间内均匀分布,避免死区的存在。
合理控制温湿度:根据具体需求调节温湿度水平,确保洁净车间的温湿度达到要求。调整风量和换气次数:根据ISO等级确定适当的风量和每小时换气次数,确保空气质量符合标准。 优化送回风口布:合理设置送风口和回风口位置,形成自上而下的层流效果。
无尘车间又称无尘室,洁净车间,净化车间,洁净室等。百级无尘车间是根据中华人民共和国国家标准GBJ73—84,《洁净厂房设计规范》(下面简称《规范》)明确规定了空气洁净度的四个等级(洁净度即指洁净环境中空气含尘粒多少的程度),并 ... 了相应表格以示划分之标准:
这是依据美国联邦标准209E中洁净室等级标准换算出来的,每一等级都对每立方米空气中直径大于等于0.5um的灰尘粒的数量有严格的规定。《规范》还详加注明:“对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数,应进行多次采样,当其多次出现时,方可认为该测试数值是的。”
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安装通风管道通风管道要根据车间的大小来选择,材料要选择渡锌板制作,在剪裁要做到严丝合缝,要确保材料无孔洞,经久耐用。
地面施工重要,无尘车间地面一般是环氧自流坪和塑料PVC地板。因为这两种材料不容易起灰尘,而且防静电。
1、尘粒的大允许数量
2、0.5微米以上的粒子数不得超过350000个,5微米以上的粒子数不得超过2000个
材料选择的致标准1、型材系统:采用航空级铝合金型材,经过阳氧化处理形成致密氧化膜,表面粗糙度需控制在Ra≤0.2μm。型材空腔设计采用多腔体结构,内置隔断形成气密屏障,同时填充高分子吸音材料以降低振动传导。某净化工程案例中,型材接缝处采用激光焊接技术,焊缝平整度误差不超过0.05mm。 2、玻璃配置:使用双层钢化Low-E玻璃,中间充填氩气层,传热系数≤1.5W/(㎡·K)。玻璃边缘需进行三边磨边处理,倒角精度要求±0.1mm,微颗粒积聚。某芯片工厂实测数据显示,采用12mm+12mm真空玻璃组合时,室内外压差50Pa条件下的空气泄漏量仅为0.01m3/(h·m)。