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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
检测验的严苛流程1、气密性测试:采用ISO 14644-3标准，在50Pa压差下扫描检测，泄漏率≤0.01%vol/h。某存储芯片项目的测试报告记载，使用氦质谱检漏仪检测时，门系统整体泄漏量 2、洁净度验:依据GB 50073-2013标准，在动态运行状态下检测。数据显示，安装净化门窗后，操作区0.1μm粒径的悬浮粒子浓度≤10个/m3。 3、耐久性试验:模拟10万次启闭循环后，门扇下垂量≤1.5mm，密封性能衰减率≤5%。某跨国企业的企业标准要求，关键部件需通过MTBF(平均无故障时间)≥50万次的认。
六、1000000级:0.1um浓度≤1000000，0.2um浓度≤237000，0.3um浓度≤102000，0.5um浓度≤35200，1.0um浓度≤8320，5.0um浓度≤293，该级别净化程度较低，主要应用于印刷厂、包装厂等对洁净度要求不高的行业。无尘车间等级划分主要根据换气次数，尘埃粒子、微生物的多少来划分。
1、1级:级的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业，对集成电路的要求为亚微米。
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动线规划要点:要检讨分析(Analyse)人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以交叉污染。作业者、化学品、材料等动线勿集中；无尘车间四周，宜设缓冲区；制造装置的出入，不要对作业产生大影响。3、有些空气净化系统的空气，如经处理仍不能避免交叉污染时，则不能循环（continue)使用:固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序；用有机溶媒精制的原料精制、干燥工序；放射性品生产区；病原体操作区；工艺过程中产生大量有害物质、挥发性气体的生产工序；固体口服制剂的颗料
（1）品生产我国的《品生产管理规范》（又称GMP）已在全国范围内实施，对生产环境提出了相应于工艺过程的不同洁净级别要求。除了限定空气中尘埃粒子的大小和含量外，对生物粒子（细菌数）也有明确的限制。（2）医院 白血病的治疗室、烧伤病房、外科手术室，根据条件用相应的洁净技术来空气中的细菌，对治疗起到环境保障作用。
（3）医学科学实验 对于实验动物的饲养、遗传工程等学科实验工程，也应该具备洁净环境，才能取得有效的成果。