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无尘车间清洁剂的技术标准
无尘车间专用清洁剂需符合ISO 14644-1洁净度标准，其配方要求无颗粒脱落、低挥发性的特性。这类清洁剂通常采用超纯水作为基底，搭配非离子表面活性剂，确保在清洁过程中不会引入新的污染物。半导体行业使用的清洁剂还需通过SEMI认证，金属离子含量控制在ppb级（如钠、钾离子＜1ppb）。实验数据显示，优质无尘车间清洁剂的残留量＜0.1μg/cm²，远低于普通清洁剂的50μg/cm²，可有效维持Class 100洁净环境。
8）回风方式:10万级无尘室主要采用的回风方式主要有:
1、单侧墙下部布置回风口；
2、当采用过道回风时，在过道内均匀布置回风口或在过道端部集中设置回风口。
9）风口风速:
送风口风速米/秒:
1、孔板孔口3~5；
2、侧送风口:
（1）贴附射流2~5；
纯臻净化百级无尘车间，如下图参数:无尘车间的应用范围.
一、无尘车间技术（什么是无尘车间）
通过无尘车间技术方面的各种设施和严格管理，使室内微粒子含量、气流、压力等也控制在一定范围内，这种房间空间称洁净室。
二、无尘车间技术的运用
1 微电子工业
微电子工业是当前对洁净室要求更高工业洁净业。此外，如现代工业中的液晶、光纤等的生产，同样均有洁净度的要求。
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1000级-10万级洁净室的气流方向和100级以上的洁净室不同，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动，拌有回流或涡流，它主要靠过滤后洁净的气流不断稀释室内的空气，将室内的污染逐渐排出，来实现洁净效果。不同等级的无尘室，主要是依靠单位时间内所送风量（换气次数）的不同来实现。 无尘室管控之项目 1，能除去空气中之微尘粒子 2，能微尘粒子产生 3，温度和湿度之控制 4，压力之调节 5，结构物与隔间之气密性 6，静电之防制 7，因素之考虑8，之考量 9，电磁干扰预防
无尘车间的墙面需要使用防静电材料，以避免静电的产生。墙面材料应该具有防尘、防腐、防水等特性，同时还需要考虑墙面的平整度和美观度。 4. 照明系统
无尘车间的照明系统需要使用防爆、防静电的灯具，以避免灰尘、细菌等污染物的进入。照明系统的设计需要考虑照明强度、照明均匀度、照明角度等因素。
温湿度控制系统无尘车间需要安装恒温恒湿控制系统，以保持车间内的温湿度稳定。温湿度控制系统的设计需要考虑控制精度、控制范围、控制方式等因素。