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光学级无尘清洁剂的应用
光学元件清洁剂需满足"零划伤"要求,其配方不含任何研磨颗粒。采用超临界CO2清洗技术时,配合特种氟系溶剂可达到原子级清洁度。某镜头制造商的数据显示,使用低表面张力(18mN/m)的光学清洁剂后,镜片不良率从500PPM降至20PPM。这类产品通常通过NASA标准测试,确保在太空环境中不会挥发或结晶。
原则:无尘车间里存在大量可以节约能源(解释:向自然界提供能量转化的物质)的地方,例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩,很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径,尽可能(maybe)地压缩前期投入,而不顾后期运行费用。率(efficiency)的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本,会造成工厂的运行性能降低(reduce)和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。
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指洁净室(区)已处于正常生产状态,设备在指定的方式下进行,并且有指定的人员按照规范操作。指洁净室(区)在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下,但是没有生产设备、原材料或人员的状态。通过以上释义,我们可以汇总如下表: 洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或洁净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
材料选择的致标准1、型材系统:采用航空级铝合金型材,经过阳氧化处理形成致密氧化膜,表面粗糙度需控制在Ra≤0.2μm。型材空腔设计采用多腔体结构,内置隔断形成气密屏障,同时填充高分子吸音材料以降低振动传导。某净化工程案例中,型材接缝处采用激光焊接技术,焊缝平整度误差不超过0.05mm。 2、玻璃配置:使用双层钢化Low-E玻璃,中间充填氩气层,传热系数≤1.5W/(㎡·K)。玻璃边缘需进行三边磨边处理,倒角精度要求±0.1mm,微颗粒积聚。某芯片工厂实测数据显示,采用12mm+12mm真空玻璃组合时,室内外压差50Pa条件下的空气泄漏量仅为0.01m3/(h·m)。