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无尘车间清洁剂的技术标准
无尘车间专用清洁剂需符合ISO 14644-1洁净度标准,其配方要求无颗粒脱落、低挥发性的特性。这类清洁剂通常采用超纯水作为基底,搭配非离子表面活性剂,确保在清洁过程中不会引入新的污染物。半导体行业使用的清洁剂还需通过SEMI认证,金属离子含量控制在ppb级(如钠、钾离子<1ppb)。实验数据显示,优质无尘车间清洁剂的残留量<0.1μg/cm²,远低于普通清洁剂的50μg/cm²,可有效维持Class 100洁净环境。
安装部净化装置:在关键工序区域安装部净化设备,如层流罩或移动式净化台。 优化人员与物流管理:明确区分人、物路线,设置多级缓冲区,避免交叉污染。
在净化车间施工前的选址阶段,对洁净室工程的地理位置进行严格筛选与科学评估。选址的首要原则是确保周边空气环境质量优良,尽可能远离工业排放区、交通主干道等污染源密集区域,将PM2.5、VOCs等空气污染物浓度控制在国家标准限值以下。 同时,选址应充分考虑自然生态屏障的防护作用,优先选择周边设有30米以上绿化带的场地,乔木与灌木的复合植被配置能有效吸附空气中的颗粒物,形成天然的空气过滤系统。此外,场地主导风向的上游区域应避免存在垃圾处理站、污水处理厂等潜在污染源,确保新风采集口所处位置的空气洁净度达到ISO14644-1标准中规定的相应级别要求。
悬浮粒子数大允许数/m3
近似对应传统洁净度
10,000级100,000级各国洁净度等级近似对照表
个 / M ≥0.5um
ISO14644-1(1999)
US209E(1992) US209D(1988)
EECcGMP(1989)
FRANCEAFNOR(1981)
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万级是净化室的一个洁净标准。目前常用的洁净室标准由低到高分别是:三十万、十万、万、千、百、十。 而万级车间也有两种意义,一种是静态万级,就是车间内部有设备但没有在运行,没有人员移动的情况;还有一种是动态,就是内部各个工序在运转的时候的洁净度,一般情况都是指前者。**级别的定义是单位立方英尺空气中游离的直径大于等于0.5μm的尘埃粒子数目小于对应级别。
如果把温溼度都调整好,一般情况是没有危害的!
尘埃粒子高允许数(每立方米):大于等于0.5微米的不超过3500000个,大于等于5微米的不超过20000个; 2、微生物高允许数:浮游菌数量每立方米不得超过500个;每个培养皿的沉降菌数不得超过10个。 送风方式:(1)部孔板顶棚送风;(2)带扩散板空气过滤器顶棚送风;(3)上侧墙送风等三种送风方式。4、回风方式:(1)单侧墙下部布置回风口;(2)当采用过道回风时,在过道内均匀布置回风口或在过道端部集中设置回风口。