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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
ISO Class4
ISO Class5
100,000
ISO Class6
1,000,000
237,000
102,000ISO Class7352,000
ISO Class8 3,520,000
832,000
ISO Class9
洁净度有限:无法满足半导体芯片制造、高精度光学仪器组装等对微粒污染零容忍的行业需求,可能影响高端产品质量。环境控制宽松:温湿度调节和正压控制精度较低,生产环境稳定性不足,可能增加次品率。 行业限制:在生物医研发、新能源等高洁净度要求的领域,十万级车间满足标准,应用场景受限。 1、洁净度较高:万级无尘车间要求每立方米空气中直径≥0.5微米的颗粒物数量不超过350,000个,适用于硬盘驱动器制造、精密机械加工、高级食品包装等对清洁度要求严格的行业。
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洁净度等级千级无尘车间的洁净度等级为1000粒子/立方米,适用于一些要求较高的场合,如半导体制造、光学仪器等。百级无尘车间的洁净度等级为100粒子/立方米,适用于要求更高的场合,如生物制、精密电子等。 2.过滤器配置 千级无尘车间通常采用初中三级过滤系统;而百级无尘车间则需采用更高级别的过滤器,以达到更高的洁净度要求。
千级无尘车间可采用乱流或层流方式进流组织;百级无尘车间则采用层流方式,以确保洁净室内空气的均匀分布。
压差梯度维持:洁净区对非洁净区保持 正压(压差≥10Pa),核心区压力高。安装压差计实时监测,异常时自动报警并调整送/排风量。三、清洁与程序 日常清洁:使用无尘工具:超细纤维布、无脱落拖把、吸尘器(HEPA过滤)。清洁剂:中性无残留溶剂(如异丙醇),避免腐蚀设备。 频率:每日清洁地面、墙面;每周彻底清洁设备表面及。与灭菌化学:过氧化氢、季铵盐类,轮换使用以防耐性。