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无尘车间清洁剂的安全标准
洁净室清洁剂需通过多项安全认证，包括NFPA 704危险品标识、RoHS 2.0等。其闪点要求＞93℃，避免成为点火源。某Fab厂的事故分析显示，使用不含磷酸盐的清洁剂后，化学品伤害事件减少85%。所有清洁剂容器必须采用防漏设计，并通过72小时密封测试。
选择洁净车间的空气过滤系统时，首先要考虑所需的洁净等级。一般来说，HEPA（空气过滤器）和ULPA（穿透空气过滤器）是常用的选择，能够有效去除微小颗粒物。其次，还要评估空气流量和过滤器的更换周期，以系统的长期有效性和经济性。选择、低阻力的过滤系统可以减少能耗，降低运营成本。，建议与的空气过滤系统供应商合作，确保所选设备符合洁净室的特定要求和行业标准。 净化厂房的电气设计应确保和性，电气故障对洁净环境造成影响。设计时应选用防静电和防火材料，确保电缆和设备的布设符合标准。
原则:无尘车间里存在大量可以节约能源（解释:向自然界提供能量转化的物质)的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能（maybe)地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。率（efficiency)的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低（reduce)和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。
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物理灭菌:紫外灯（波长254nm）照射30分钟以上（人员撤离后）。重点关注区域:工作台面、门把手、传递窗。四、物料与设备管理 物料进出控制:物料通过传递窗（带双层互锁门）或灭菌隧道进入。外包装在缓冲间拆除，内包装需用酒精擦拭。 设备选型与维护:使用洁净室设备（如无尘工具、低发尘设备）。定期润滑、检修，机械磨损产生微粒。
、环境监测与数据分析实时监测系统:
8）回风方式:10万级无尘室主要采用的回风方式主要有:
1、单侧墙下部布置回风口；
2、当采用过道回风时，在过道内均匀布置回风口或在过道端部集中设置回风口。
9）风口风速:
送风口风速米/秒:
1、孔板孔口3~5；
2、侧送风口:
（1）贴附射流2~5；