广西医院净化工程专业施工团队
无尘墙面与地板清洁系统
洁净室专用地坪清洁剂含有纳米二氧化硅成分,能在表面形成保护膜,减少微粒脱落。电动清洁机配合旋转速度<100rpm的软毛刷头,可避免产生二次污染。验证数据显示,该系统可使地板颗粒脱落量从5000个/m³·min降至50个/m³·min,维持Class 1000级洁净度要求达72小时以上。
精密的环境控制除了空气净化,无尘车间还需严格控制温湿度、静电、噪音、光照等环境因素。温湿度的稳定对于敏感材料和精密设备,静电控制则能避免微电子元件受损,而低噪音和适宜的光照条件则是人员工作效率的基础。这一切的调控,都需要的自动化系统和严格的操作规程来实现。
无尘车间的等级划分
根据标准ISO 14644-1,无尘车间被分为多个等级,如ISO 1级(干净)至ISO 9级(较不干净)。等级数字越小,表示空气中允许的粒子浓度越低,洁净度越高。例如,半导体芯片制造通常需要ISO 3级或更高标准的环境,而普通品生产可能适用ISO 7或8级标准。
开启机构:平移门采用磁悬浮轨道系统,运行噪音≤45dB,启闭速度可调范围0.3-1.2m/s。某晶圆厂实测数据表明,配备伺服电机的门体定位精度可达±0.5mm,重复定位误差不超过0.2mm。3、互锁系统:采用PLC控制的双门互锁装置,切换延迟时间可设置在5-30秒可调。某GMP车间案例中,系统集成压差传感器,当检测到压差异常时自动触发声光报警并锁定门体。 三、施工工艺的纳米级控制
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Class X (at Y μm )其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子:Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)Class 100(0.2μm , 0.5μm )Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。第二个技巧是规定无尘室的状态,例如:
6)噪声控制:一、动态检测时,万级无尘室内的噪音级不得超出70分贝A。
二、静态检测时,万级乱流无尘室的噪音级不能超出60分贝A。
7)送风方式:
气流组织10万级无尘室主要采用的送风方式有以下三种:
1、部孔板顶棚送风;
2、带扩散板空气过滤器顶棚送风;
3、上侧墙送风 等三种送风方式。