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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
Class X (at Y μm )，At-rest供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在As-built时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如:Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built
无尘车间技术（什么是无尘车间）通过无尘车间技术方面的各种设施和严格管理，使室内微粒子含量、气流、压力等也控制在一定范围内，这种房间空间称洁净室。
二、无尘车间技术的运用
1 微电子工业
微电子工业是当前对洁净室要求更高工业洁净业。此外，如现代工业中的液晶、光纤等的生产，同样均有洁净度的要求。
（1）品生产我国的《品生产管理规范》（又称GMP）已在全国范围内实施，对生产环境提出了相应于工艺过程的不同洁净级别要求。除了限定空气中尘埃粒子的大小和含量外，对生物粒子（细菌数）也有明确的限制。
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《电子工业洁净厂房设计规范》 GB50472-2008。 三、洁净厂房的特点
洁净厂房系统主要由初，中，高三级空气过滤的空调送风回风和 排风系统；动力及照明系统；工作环境参数的监测报警消防和通讯系统；人流和物流系统；工艺管路系统；维护结构及静电地面处理等各方面所要求的实施内容组成，形成空调净化系统工程所包含的整个设备和器材的配套和建筑安装内容。
洁净厂房的分部工程材料分类厂房板材:1、EPS夹芯彩钢板2、岩棉夹芯彩钢板 3、纸蜂窝夹芯板4、手工企口岩棉板5、玻镁夹心彩钢板。 厂房地面:1、PVC地板2、高架地板3、环氧树脂自流平型地面5、环氧树脂防静电自流平型地面。 什么是无尘车间
不过，企业都会以产品为主，把室内的温溼度调节到产品的更佳程度，对此人体都会有一定的不舒服，如果说危害，那长远来讲，那些风溼、过敏等等都会有一定的影响，但是不是主要的！无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温溼度及压力等性能之特性。