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无尘车间清洁剂的安全标准
洁净室清洁剂需通过多项安全认证,包括NFPA 704危险品标识、RoHS 2.0等。其闪点要求>93℃,避免成为点火源。某Fab厂的事故分析显示,使用不含磷酸盐的清洁剂后,化学品伤害事件减少85%。所有清洁剂容器必须采用防漏设计,并通过72小时密封测试。
“十万级无尘车间”表示“每立方米空气中直径大于等于0.5um的灰尘粒的数量少于10万个”。所谓十万级是指一英尺的空间内允许存在的0.5微米的尘埃粒子的个数在十万个以内。
1000-30万级净化室和100级以上的净化室不同,室处的气流是以不均匀的速度成不平行流动,伴有回流或涡流,它主要靠洁净的气流不断稀释室内的空气,将室内的污染逐渐排出,来实现净化。不同的净化等级,主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现。
六、1000000级:0.1um浓度≤1000000,0.2um浓度≤237000,0.3um浓度≤102000,0.5um浓度≤35200,1.0um浓度≤8320,5.0um浓度≤293,该级别净化程度较低,主要应用于印刷厂、包装厂等对洁净度要求不高的行业。无尘车间等级划分主要根据换气次数,尘埃粒子、微生物的多少来划分。
1、1级:级的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的要求为亚微米。
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风口风速:送风口风速米/秒:(1)孔板孔口3~5;(2)侧送风口:①贴附射流2~5;②非贴附射流同侧墙下部回风1.5~2.5,对侧墙下部回风1.0~1.5。压差:相同洁净度级别的洁净车间之间的压差应一致,不同洁净度级别的相邻洁净车间之间的压差应5Pa,洁净车间与非洁净车间之间的压差应10Pa。7、噪声控制:(1)动态检测时,万级无尘室内的噪音级不得超出70分贝A。(2)静态检测时,万级乱流无尘室的噪音级不能超出60分贝A。
完备的消防及疏散设施。无尘室空间相对封闭,按照要求配置灭火系统,例如的排风排烟设施,灭火器和消火栓,以及疏散通道的通畅,否则在发生紧急情况时,人员无法及时疏散,相对普通车间会造成比较大的伤亡。只要无尘车间的各项措施做到位,对人体就没有什么大的伤害。一般的无尘车间对身体是没伤害的(食品厂和制厂),无尘车间是通过空调系统,在送风、回风的循环过程中,通过机组里的过滤器,不断地将空气中的灰尘粒子过滤掉,根据无尘车间的用途不同,有些还会加入的装置来过滤细菌等微生物,比如食品厂和制厂。这个过程就是简单的过滤,并不涉及什么放射性物质,谈不上辐射。如果真有辐射,那也是无尘车间内的设备或者材料产生的辐射。