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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
十万级无尘车间的定义与特点十万级无尘车间,又称为ISO 7级无尘车间,是指在每立方米空气中,0.5微米及以上粒径的尘埃粒子数量不超过10万个。这种级别的无尘车间可以有效地控制尘埃粒子对产品质量的影响,产品的纯净度和性。 十万级无尘车间的主要特点包括: 严格的空气过滤系统:采用过滤器(HEPA或ULPA),对空气中的尘埃粒子进行有效过滤,确保洁净度达到要求。温湿度控制:通过空调系统,对车间内的温湿度进行控制,以满足不同产品和工艺的要求。静电防护:采用防静电地板、墙壁和工作台等材料,减少静电产生,降低对电子产品等敏感设备的影响。 照明和噪音控制:使用无影灯和隔音材料,创造一个舒适的工作环境,提高员工的工作效率。 十万级无尘车间的应用
洁净厂房设计规范一、洁净厂房的定义 也叫无尘车间、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、灰尘等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。《洁净厂房设计规范》 GB50073-2013;《洁净室施工及验收规范》 GB50591-2010; 《工业洁净厂房设计规范》 GB50457-2008;
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压差梯度维持:洁净区对非洁净区保持 正压(压差≥10Pa),核心区压力高。安装压差计实时监测,异常时自动报警并调整送/排风量。三、清洁与程序 日常清洁:使用无尘工具:超细纤维布、无脱落拖把、吸尘器(HEPA过滤)。清洁剂:中性无残留溶剂(如异丙醇),避免腐蚀设备。 频率:每日清洁地面、墙面;每周彻底清洁设备表面及。与灭菌化学:过氧化氢、季铵盐类,轮换使用以防耐性。
选择洁净车间的空气过滤系统时,首先要考虑所需的洁净等级。一般来说,HEPA(空气过滤器)和ULPA(穿透空气过滤器)是常用的选择,能够有效去除微小颗粒物。其次,还要评估空气流量和过滤器的更换周期,以系统的长期有效性和经济性。选择、低阻力的过滤系统可以减少能耗,降低运营成本。,建议与的空气过滤系统供应商合作,确保所选设备符合洁净室的特定要求和行业标准。 净化厂房的电气设计应确保和性,电气故障对洁净环境造成影响。设计时应选用防静电和防火材料,确保电缆和设备的布设符合标准。