梅州线路板洁净车间18年专业团队
无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
GERMANYVDI 2083
JAPANJAOA(1989)100,000353,000
400,000
1,000,000
3,530,000
100,000 4,000,000
10,000,000
无尘车间(洁净室)等级说明
首先是等级定义的模式如下:
十万级无尘车间的定义与特点十万级无尘车间,又称为ISO 7级无尘车间,是指在每立方米空气中,0.5微米及以上粒径的尘埃粒子数量不超过10万个。这种级别的无尘车间可以有效地控制尘埃粒子对产品质量的影响,产品的纯净度和性。 十万级无尘车间的主要特点包括: 严格的空气过滤系统:采用过滤器(HEPA或ULPA),对空气中的尘埃粒子进行有效过滤,确保洁净度达到要求。温湿度控制:通过空调系统,对车间内的温湿度进行控制,以满足不同产品和工艺的要求。静电防护:采用防静电地板、墙壁和工作台等材料,减少静电产生,降低对电子产品等敏感设备的影响。 照明和噪音控制:使用无影灯和隔音材料,创造一个舒适的工作环境,提高员工的工作效率。 十万级无尘车间的应用
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人员与物流管理不当:缺乏独立的人员通道与物料通道,更衣室与缓冲间设置不合理,传递窗数量不足或位置错误。优化无尘车间空气流动和气流模式设计的建议: 选择合适的空气过滤器:确保空气过滤器能够去除空气中的微尘、细菌和等有害物质。 优化空气流动设计:确保空气从清洁区向较不清洁区单向流动,使空气在整个房间内均匀分布,避免死区的存在。
合理控制温湿度:根据具体需求调节温湿度水平,确保洁净车间的温湿度达到要求。调整风量和换气次数:根据ISO等级确定适当的风量和每小时换气次数,确保空气质量符合标准。 优化送回风口布:合理设置送风口和回风口位置,形成自上而下的层流效果。
Class X (at Y μm ),At-rest供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。第三个技巧是自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘室都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如:Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built