银南十万级洁净车间专业施工团队
无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
安装部净化装置:在关键工序区域安装部净化设备,如层流罩或移动式净化台。 优化人员与物流管理:明确区分人、物路线,设置多级缓冲区,避免交叉污染。
在净化车间施工前的选址阶段,对洁净室工程的地理位置进行严格筛选与科学评估。选址的首要原则是确保周边空气环境质量优良,尽可能远离工业排放区、交通主干道等污染源密集区域,将PM2.5、VOCs等空气污染物浓度控制在国家标准限值以下。 同时,选址应充分考虑自然生态屏障的防护作用,优先选择周边设有30米以上绿化带的场地,乔木与灌木的复合植被配置能有效吸附空气中的颗粒物,形成天然的空气过滤系统。此外,场地主导风向的上游区域应避免存在垃圾处理站、污水处理厂等潜在污染源,确保新风采集口所处位置的空气洁净度达到ISO14644-1标准中规定的相应级别要求。
5 光学与精密仪器制造光学镜片、精密仪器等产品对表面质量和精度有着高要求,无尘车间能够减少微小颗粒对产品的影响,提高成品率。 3.6 新能源产业 太阳能电池板、锂电池等新能源产品的制造同样需要无尘环境,以产品质量和一致性。
为了保持无尘车间的良好运行状态,需要一套完整的管理体系来监控其各项。这包括定期的环境测试、设备校准、人员培训等。同时,还应制定严格的进出管理制度,确保进入无尘车间的物品都经过适当的清洁和处理。
银南十万级洁净车间专业施工团队
(一)空气净化系统调试 启动空气净化系统,进行试运行,监测过滤器的性能,确保达到预定的清洁等级。 (二)温湿度控制调试
通过调整空调系统,确保无尘车间内的温湿度符合生产工艺要求。
(三)气流组织优化根据实际运行情况,优化气流组织,确保气流分布均匀,有效排除微粒。
(四)监控与检测系统校准
对监控与检测设备进行校准,确保数据准确。
为了尽量减少操作中人员活动造成的污染,人员在进入无尘区前需要更换无尘服,洗手、、淋浴。这些措施是;人员净化。人员净化室更换无尘服装的房间应送风,侧等房间应保持正压,卫生间、淋浴应保持少量正压,卫生间、淋浴应保持负压。物料净化道路各种物品在送入无尘区域前经过净化处理,简称物理净化。物料净化道路应与人工净化道路分开。如果物料和人员只能在同一个地方进入无尘车间,也有必要分开进入,物料应先经过粗净化处理。在生产线不强的情况下,可以在物料道路中心设置中心仓库。如果生产线很强,则选择直通物料道路,有时需要在直通道路中心设置反复净化和传输设备。在系统规划中,物理净化室的粗净化和精净化阶段会吹掉大量的生颗粒,因此相对无尘区应坚持负压或零压。如果污染风险较大,方向也应坚持负压。