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无尘车间清洁剂的技术标准
无尘车间专用清洁剂需符合ISO 14644-1洁净度标准,其配方要求无颗粒脱落、低挥发性的特性。这类清洁剂通常采用超纯水作为基底,搭配非离子表面活性剂,确保在清洁过程中不会引入新的污染物。半导体行业使用的清洁剂还需通过SEMI认证,金属离子含量控制在ppb级(如钠、钾离子<1ppb)。实验数据显示,优质无尘车间清洁剂的残留量<0.1μg/cm²,远低于普通清洁剂的50μg/cm²,可有效维持Class 100洁净环境。
在正式施工前,需要彻底清理施工现场,确保地面平整、无杂物,为后续施工提供良好的基础。同时,还应该制定详细的施工计划,包括人员培训、防护装备配备、应急处理预案等。组建的施工团队也是必不可少的一环,包括项目经理、工程师、技术人员、工人等,确保每项工作都有专人负责。(一)地面处理 按照设计方案铺设防静电地板或环氧树脂涂层地面,确保地面平整、无缝隙、易于清洁。 (二)墙面与顶棚施工安装不锈钢板材或其他指定材料制成的墙面和顶棚,确保无尘车间内部平滑、无。选择不易积尘、易于清洁的材料,同时要注意围护结构的稳定性和气密性。
十万级无尘室的标淮是指:1)尘埃粒子高允许数(每立方米):
大或等于0.5微米的粒子数不能超出3500000个,大或等于5微米的粒子数不能超出20000个;
2)微生物高允许数:
浮游菌数不能超出500个每立方米;沉降菌数不能超出10个每培养皿。
相同洁净度等级的洁净车间压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净车间之间压差要≥5Pa,洁净车间与非洁净车间之间要≥10Pa。
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为了尽量减少操作中人员活动造成的污染,人员在进入无尘区前需要更换无尘服,洗手、、淋浴。这些措施是;人员净化。人员净化室更换无尘服装的房间应送风,侧等房间应保持正压,卫生间、淋浴应保持少量正压,卫生间、淋浴应保持负压。物料净化道路各种物品在送入无尘区域前经过净化处理,简称物理净化。物料净化道路应与人工净化道路分开。如果物料和人员只能在同一个地方进入无尘车间,也有必要分开进入,物料应先经过粗净化处理。在生产线不强的情况下,可以在物料道路中心设置中心仓库。如果生产线很强,则选择直通物料道路,有时需要在直通道路中心设置反复净化和传输设备。在系统规划中,物理净化室的粗净化和精净化阶段会吹掉大量的生颗粒,因此相对无尘区应坚持负压或零压。如果污染风险较大,方向也应坚持负压。
动线规划要点:要检讨分析(Analyse)人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等,尽量缩短动线,并避免交叉,以交叉污染。作业者、化学品、材料等动线勿集中;无尘车间四周,宜设缓冲区;制造装置的出入,不要对作业产生大影响。3、有些空气净化系统的空气,如经处理仍不能避免交叉污染时,则不能循环(continue)使用:固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序;用有机溶媒精制的原料精制、干燥工序;放射性品生产区;病原体操作区;工艺过程中产生大量有害物质、挥发性气体的生产工序;固体口服制剂的颗料