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无尘车间清洁剂的技术标准
无尘车间专用清洁剂需符合ISO 14644-1洁净度标准，其配方要求无颗粒脱落、低挥发性的特性。这类清洁剂通常采用超纯水作为基底，搭配非离子表面活性剂，确保在清洁过程中不会引入新的污染物。半导体行业使用的清洁剂还需通过SEMI认证，金属离子含量控制在ppb级（如钠、钾离子＜1ppb）。实验数据显示，优质无尘车间清洁剂的残留量＜0.1μg/cm²，远低于普通清洁剂的50μg/cm²，可有效维持Class 100洁净环境。
清洁无尘净化车间里面的墙壁时要使用无尘净化车间无尘布;使用已获批准的无尘车间去污剂，也可以自己配置(deploy)用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂;2、清洁无尘净化车间的地面时要使用拖把;
3、每天巡查车间和整备间的垃圾箱，需及时把垃圾清走;
4、每块地板都要吸尘。每次交接班的时候，应在地图上标注工作完成的情况，例如 哪结束从哪开始;
“十万级无尘车间”表示“每立方米空气中直径大于等于0.5um的灰尘粒的数量少于10万个”。所谓十万级是指一英尺的空间内允许存在的0.5微米的尘埃粒子的个数在十万个以内。
1000-30万级净化室和100级以上的净化室不同，室处的气流是以不均匀的速度成不平行流动，伴有回流或涡流，它主要靠洁净的气流不断稀释室内的空气，将室内的污染逐渐排出，来实现净化。不同的净化等级，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现。
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