成都万级万级净化系统18年专业团队
无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
35,200,000
8,320,000
293,000
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平
GB50073-2013 国家标准—空气洁净度等级空气洁净度等级(N) 大于或等于表中粒径的大浓度限值(pc/m³)
9(一百万级) 中国GMP(2010年修订)新版GMP附录1 无菌品.第三章.第九条……洁净区各级别空气悬浮粒子的标准规定如下
在正式施工前,需要彻底清理施工现场,确保地面平整、无杂物,为后续施工提供良好的基础。同时,还应该制定详细的施工计划,包括人员培训、防护装备配备、应急处理预案等。组建的施工团队也是必不可少的一环,包括项目经理、工程师、技术人员、工人等,确保每项工作都有专人负责。(一)地面处理 按照设计方案铺设防静电地板或环氧树脂涂层地面,确保地面平整、无缝隙、易于清洁。 (二)墙面与顶棚施工安装不锈钢板材或其他指定材料制成的墙面和顶棚,确保无尘车间内部平滑、无。选择不易积尘、易于清洁的材料,同时要注意围护结构的稳定性和气密性。
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(三)门窗安装 安装特制的气密门窗,确保无尘车间的气密性良好,外界污染物进入。 (四)通风管道与过滤器安装
安装通风管道和过滤器,确保空气流通顺畅,净化系统运行正常。此步骤需注意系统的密封性,避免外界污染物进入。
(五)照明与电力系统安装安装防尘防爆灯具,以及必要的电力线路和插座,确保无尘车间内有的照明和电力供应。电气布线时要采用低烟无卤电线电缆等具有良好阻燃性能的线缆,保障人员。
指洁净室(区)已处于正常生产状态,设备在指定的方式下进行,并且有指定的人员按照规范操作。指洁净室(区)在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下,但是没有生产设备、原材料或人员的状态。通过以上释义,我们可以汇总如下表: 洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或洁净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。