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无尘车间清洁剂的安全标准
洁净室清洁剂需通过多项安全认证,包括NFPA 704危险品标识、RoHS 2.0等。其闪点要求>93℃,避免成为点火源。某Fab厂的事故分析显示,使用不含磷酸盐的清洁剂后,化学品伤害事件减少85%。所有清洁剂容器必须采用防漏设计,并通过72小时密封测试。
开启机构:平移门采用磁悬浮轨道系统,运行噪音≤45dB,启闭速度可调范围0.3-1.2m/s。某晶圆厂实测数据表明,配备伺服电机的门体定位精度可达±0.5mm,重复定位误差不超过0.2mm。3、互锁系统:采用PLC控制的双门互锁装置,切换延迟时间可设置在5-30秒可调。某GMP车间案例中,系统集成压差传感器,当检测到压差异常时自动触发声光报警并锁定门体。 三、施工工艺的纳米级控制
安装通风管道通风管道要根据车间的大小来选择,材料要选择渡锌板制作,在剪裁要做到严丝合缝,要确保材料无孔洞,经久耐用。
地面施工重要,无尘车间地面一般是环氧自流坪和塑料PVC地板。因为这两种材料不容易起灰尘,而且防静电。
1、尘粒的大允许数量
2、0.5微米以上的粒子数不得超过350000个,5微米以上的粒子数不得超过2000个
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悬浮粒子数大允许数/m3
近似对应传统洁净度
10,000级100,000级各国洁净度等级近似对照表
个 / M ≥0.5um
ISO14644-1(1999)
US209E(1992) US209D(1988)
EECcGMP(1989)
FRANCEAFNOR(1981)
无尘车间施工流程包括:无尘车间工程确定方案及报价,签订合同。 一般先看现场,很多方案都需要根据现场情况和车间生产产品进行设计。不同的行业有不同的要求,不同的水平和价格。需要了解无尘车间工程的装修水平和面积,天花板和梁下好有图纸。方便后期设计,减少时间。方案价格确定后,签订合同开工。 无尘车间装修彩钢板隔断安装
相当于一般框架。材料进场后,隔墙都要做好,时间要根据厂房面积来确定。无尘车间装修属于工业厂房,一般比较快,不像装修行业,工期比较慢。