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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
无尘车间技术(什么是无尘车间)通过无尘车间技术方面的各种设施和严格管理,使室内微粒子含量、气流、压力等也控制在一定范围内,这种房间空间称洁净室。
二、无尘车间技术的运用
1 微电子工业
微电子工业是当前对洁净室要求更高工业洁净业。此外,如现代工业中的液晶、光纤等的生产,同样均有洁净度的要求。
(1)品生产我国的《品生产管理规范》(又称GMP)已在全国范围内实施,对生产环境提出了相应于工艺过程的不同洁净级别要求。除了限定空气中尘埃粒子的大小和含量外,对生物粒子(细菌数)也有明确的限制。
关于厂房洁净车间装修,欢迎您持续关注我们合景净化工程公司的网站,我们会为您持续讲解新能源电池洁净车间、电子光学洁净车间、生物制洁净车间、医疗器械洁净车间以及食品日化洁净车间等施工流程、各项要求以及解读各类工业洁净厂房标准。空气过滤系统HEPA/ULPA过滤器:定期检测泄漏(如PAO/DOP测试),每年至少更换一次。 气流组织优化:层流区采用单向垂直/水平流,风速控制0.45±0.1m/s(ISO 5级)。乱流区的换气次数(ISO 7级需≥60次/小时)。
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Class X (at Y μm ),At-rest供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。第三个技巧是自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘室都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如:Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built
选择合适的洁净室等级取决于行业的具体要求和生产过程。洁净室根据允许的空气中颗粒物的大浓度进行分类,通常参考ISO标准(如ISO 14644)。例如,ISO级别5的洁净室每立方米空气中允许不超过3520个颗粒物。在选择时,需评估洁净室内将进行的具体活动。例如,制或生物技术行业对于洁净度的要求更为严格,因此可能需要更高等级的洁净室。 咨询洁净室设计专家可以帮助确定适合的等级,他们能够评估您的生产流程,推荐适宜的标准,并确保设计符合相关法规。