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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
十万级无尘车间的定义与特点十万级无尘车间,又称为ISO 7级无尘车间,是指在每立方米空气中,0.5微米及以上粒径的尘埃粒子数量不超过10万个。这种级别的无尘车间可以有效地控制尘埃粒子对产品质量的影响,产品的纯净度和性。 十万级无尘车间的主要特点包括: 严格的空气过滤系统:采用过滤器(HEPA或ULPA),对空气中的尘埃粒子进行有效过滤,确保洁净度达到要求。温湿度控制:通过空调系统,对车间内的温湿度进行控制,以满足不同产品和工艺的要求。静电防护:采用防静电地板、墙壁和工作台等材料,减少静电产生,降低对电子产品等敏感设备的影响。 照明和噪音控制:使用无影灯和隔音材料,创造一个舒适的工作环境,提高员工的工作效率。 十万级无尘车间的应用
洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。洁净度和控制污染的持续稳定性,是检验无尘车间质量的核心标准,该标准根据区域环境、洁净程度等因素,分为若干等级,常用的有标准和国内区域行业标准。 ISO14644-1标准—空气洁净度等级划分 空气洁净度等级(N)大于或等于所标粒径的粒子大浓度限值(空气粒子数个/立方米)ISO Class1 ISO Class2 ISO Class3
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洁净度有限:无法满足半导体芯片制造、高精度光学仪器组装等对微粒污染零容忍的行业需求,可能影响高端产品质量。环境控制宽松:温湿度调节和正压控制精度较低,生产环境稳定性不足,可能增加次品率。 行业限制:在生物医研发、新能源等高洁净度要求的领域,十万级车间满足标准,应用场景受限。 1、洁净度较高:万级无尘车间要求每立方米空气中直径≥0.5微米的颗粒物数量不超过350,000个,适用于硬盘驱动器制造、精密机械加工、高级食品包装等对清洁度要求严格的行业。
洁净厂房设计规范一、洁净厂房的定义 也叫无尘车间、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、灰尘等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。《洁净厂房设计规范》 GB50073-2013;《洁净室施工及验收规范》 GB50591-2010; 《工业洁净厂房设计规范》 GB50457-2008;