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无尘车间清洁剂的安全标准
洁净室清洁剂需通过多项安全认证,包括NFPA 704危险品标识、RoHS 2.0等。其闪点要求>93℃,避免成为点火源。某Fab厂的事故分析显示,使用不含磷酸盐的清洁剂后,化学品伤害事件减少85%。所有清洁剂容器必须采用防漏设计,并通过72小时密封测试。
洁净车间的日常维护包括定期清洁和设备检查。清洁工作应由专门培训的人员进行,使用适合洁净室的清洁剂和工具,确保不会对洁净环境造成污染。此外,定期检查空气过滤系统和HVAC(暖通空调)设备,以确保其正常运作,对保持洁净度。维护记录应当详细记录,以便追踪和管理。评估洁净车间的空气质量通常需要进行颗粒物监测和空气质量检测。可以使用粒子计数器来测量空气中不同粒径的颗粒物浓度,确保其符合相应的洁净室等级标准。
洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。洁净度和控制污染的持续稳定性,是检验无尘车间质量的核心标准,该标准根据区域环境、洁净程度等因素,分为若干等级,常用的有标准和国内区域行业标准。 ISO14644-1标准—空气洁净度等级划分 空气洁净度等级(N)大于或等于所标粒径的粒子大浓度限值(空气粒子数个/立方米)ISO Class1 ISO Class2 ISO Class3
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万级是净化室的一个洁净标准。目前常用的洁净室标准由低到高分别是:三十万、十万、万、千、百、十。 而万级车间也有两种意义,一种是静态万级,就是车间内部有设备但没有在运行,没有人员移动的情况;还有一种是动态,就是内部各个工序在运转的时候的洁净度,一般情况都是指前者。**级别的定义是单位立方英尺空气中游离的直径大于等于0.5μm的尘埃粒子数目小于对应级别。
如果把温溼度都调整好,一般情况是没有危害的!
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