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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
动线规划要点:要检讨分析(Analyse)人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等,尽量缩短动线,并避免交叉,以交叉污染。作业者、化学品、材料等动线勿集中;无尘车间四周,宜设缓冲区;制造装置的出入,不要对作业产生大影响。3、有些空气净化系统的空气,如经处理仍不能避免交叉污染时,则不能循环(continue)使用:固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序;用有机溶媒精制的原料精制、干燥工序;放射性品生产区;病原体操作区;工艺过程中产生大量有害物质、挥发性气体的生产工序;固体口服制剂的颗料
无尘车间的工作原理无尘车间的核心在于其空气净化系统。这一系统通常包括初效、中效、三级过滤器,能够有效拦截空气中的尘埃、微生物乃至更小的粒子。空气经过层层过滤后,再以特定的速度从顶部或侧壁均匀送出,形成单向流或乱流,确保室内每一点的空气质量都达到设定标准。同时,车间内部的气压被维持得比外部稍高,以防外界污染物侵入。 精密的环境控制 除了空气净化,无尘车间还需严格控制温湿度、静电、噪音、光照等环境因素。温湿度的稳定对于敏感材料和精密设备,静电控制则能避免微电子元件受损,而低噪音和适宜的光照条件则是人员工作效率的基础。这一切的调控,都需要的自动化系统和严格的操作规程来实现。
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选择合适的洁净室等级取决于行业的具体要求和生产过程。洁净室根据允许的空气中颗粒物的大浓度进行分类,通常参考ISO标准(如ISO 14644)。例如,ISO级别5的洁净室每立方米空气中允许不超过3520个颗粒物。在选择时,需评估洁净室内将进行的具体活动。例如,制或生物技术行业对于洁净度的要求更为严格,因此可能需要更高等级的洁净室。 咨询洁净室设计专家可以帮助确定适合的等级,他们能够评估您的生产流程,推荐适宜的标准,并确保设计符合相关法规。
Class X (at Y μm )其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子:Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)Class 100(0.2μm , 0.5μm )Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。第二个技巧是规定无尘室的状态,例如: