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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。洁净度和控制污染的持续稳定性，是检验无尘车间质量的核心标准，该标准根据区域环境、洁净程度等因素，分为若干等级，常用的有标准和国内区域行业标准。 ISO14644-1标准—空气洁净度等级划分 空气洁净度等级(N)大于或等于所标粒径的粒子大浓度限值（空气粒子数个/立方米）ISO Class1 ISO Class2 ISO Class3
35,200,000
8,320,000
293,000
注:由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平
GB50073-2013 国家标准—空气洁净度等级空气洁净度等级(N) 大于或等于表中粒径的大浓度限值(pc/m³)
9（一百万级） 中国GMP（2010年修订）新版GMP附录1 无菌品.第三章.第九条……洁净区各级别空气悬浮粒子的标准规定如下
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无尘车间的洁净度检测和验收主要依据《GB50073-2013 洁净厂房设计规范》和《GB50591-2010 洁净室施工及验收规范》进行。检测包括静态、空态和动态三种状态，具体如下:静态:洁净室在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下，没有生产人员或生产操作结束后的状态。动态:洁净室已处于正常生产状态，设备在指定的方式下进行，并且有指定的人员按照规范操作。空态:洁净室在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下，但没有生产设备、原材料或人员的状态。
为了尽量减少操作中人员活动造成的污染，人员在进入无尘区前需要更换无尘服，洗手、、淋浴。这些措施是；人员净化。人员净化室更换无尘服装的房间应送风，侧等房间应保持正压，卫生间、淋浴应保持少量正压，卫生间、淋浴应保持负压。物料净化道路各种物品在送入无尘区域前经过净化处理，简称物理净化。物料净化道路应与人工净化道路分开。如果物料和人员只能在同一个地方进入无尘车间，也有必要分开进入，物料应先经过粗净化处理。在生产线不强的情况下，可以在物料道路中心设置中心仓库。如果生产线很强，则选择直通物料道路，有时需要在直通道路中心设置反复净化和传输设备。在系统规划中，物理净化室的粗净化和精净化阶段会吹掉大量的生颗粒，因此相对无尘区应坚持负压或零压。如果污染风险较大，方向也应坚持负压。