南京食用菌无菌室车间设计施工总包一站式服务
无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
1 设计原则无尘车间的设计遵循严格的标准,确保能够有效地控制空气中的微粒含量。设计时需考虑以下几个关键因素: - 空气净化系统:采用过滤器(HEPA)和超过滤器(ULPA)来过滤空气中的微粒。 - 气流模式:根据车间的等级选择垂直层流或水平层流,确保空气以均匀的速度流动。
- 压力控制:维持正压环境,外部污染进入。
- 建筑材料:使用不易产生灰尘的材料,如不锈钢和抗静电材料。
完备的消防及疏散设施。无尘室空间相对封闭,按照要求配置灭火系统,例如的排风排烟设施,灭火器和消火栓,以及疏散通道的通畅,否则在发生紧急情况时,人员无法及时疏散,相对普通车间会造成比较大的伤亡。只要无尘车间的各项措施做到位,对人体就没有什么大的伤害。一般的无尘车间对身体是没伤害的(食品厂和制厂),无尘车间是通过空调系统,在送风、回风的循环过程中,通过机组里的过滤器,不断地将空气中的灰尘粒子过滤掉,根据无尘车间的用途不同,有些还会加入的装置来过滤细菌等微生物,比如食品厂和制厂。这个过程就是简单的过滤,并不涉及什么放射性物质,谈不上辐射。如果真有辐射,那也是无尘车间内的设备或者材料产生的辐射。
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悬浮粒子数大允许数/m3
近似对应传统洁净度
10,000级100,000级各国洁净度等级近似对照表
个 / M ≥0.5um
ISO14644-1(1999)
US209E(1992) US209D(1988)
EECcGMP(1989)
FRANCEAFNOR(1981)
Class X (at Y μm ),At-rest供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。第三个技巧是自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘室都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如:Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built