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无尘车间清洁剂的安全标准
洁净室清洁剂需通过多项安全认证,包括NFPA 704危险品标识、RoHS 2.0等。其闪点要求>93℃,避免成为点火源。某Fab厂的事故分析显示,使用不含磷酸盐的清洁剂后,化学品伤害事件减少85%。所有清洁剂容器必须采用防漏设计,并通过72小时密封测试。
(五)性能验与验收 进行性能验试验,包括粒子浓度测试、微生物测试等,确保无尘车间的各项性能符合设计要求。只有通过验收后,无尘车间才能正式投入使用。 为了保持无尘车间的良好状态,日常清洁、定期更换过滤器、检查设备运行情况等都是的工作。工作人员进入车间前经过风淋室,穿戴的防护服,以减少带入的污染物。
无尘车间的施工是一个复杂且精密的过程,它要求高度的知识和的执行。从需求分析到的验,每一个步骤都。只有遵循这些步骤,才能建造出一个、且的无尘车间,满足生产和研发的高标准要求。无尘车间,也可以称为洁净车间、洁净室、无尘室或清净室。无尘车间的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。无尘车间就是具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。洁净度和控制污染的持续稳定性,是检验无尘车间质量的核心标准,该标准根据区域环境、洁净程度等因素,分为若干等级,常用的有标准和国内区域行业标准。 ISO14644-1标准—空气洁净度等级划分 空气洁净度等级(N)大于或等于所标粒径的粒子大浓度限值(空气粒子数个/立方米)ISO Class1 ISO Class2 ISO Class3
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洁净车间的日常维护包括定期清洁和设备检查。清洁工作应由专门培训的人员进行,使用适合洁净室的清洁剂和工具,确保不会对洁净环境造成污染。此外,定期检查空气过滤系统和HVAC(暖通空调)设备,以确保其正常运作,对保持洁净度。维护记录应当详细记录,以便追踪和管理。评估洁净车间的空气质量通常需要进行颗粒物监测和空气质量检测。可以使用粒子计数器来测量空气中不同粒径的颗粒物浓度,确保其符合相应的洁净室等级标准。
35,200,000
8,320,000
293,000
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平
GB50073-2013 国家标准—空气洁净度等级空气洁净度等级(N) 大于或等于表中粒径的大浓度限值(pc/m³)
9(一百万级) 中国GMP(2010年修订)新版GMP附录1 无菌品.第三章.第九条……洁净区各级别空气悬浮粒子的标准规定如下