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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
原则:无尘车间里存在大量可以节约能源（解释:向自然界提供能量转化的物质)的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能（maybe)地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。率（efficiency)的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低（reduce)和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。
合理设计:无尘车间的设计要合理,既要满足生产工艺的要求,又要符合和的原则。同时,要考虑到车间的布、运输、人员流动等因素。选择合适的设备:对于无尘车间所需的设备,要选择性能稳定、易于维护且符合要求的。此外,还要考虑到设备的成本和更换周期。4. 人员培训和管理:由于无尘车间的环境,需要对员工进行专门的培训,确保他们了解如何在无尘环境下进行操作和管理。同时,要有完善的管理制度来车间的清洁度。
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锂电池厂洁净车间与外界非洁净区域之间应保持一定的正压差，一般要求不低于10Pa。相邻不同洁净度等级区域之间应保持适当的压差，通常压差范围在5-15Pa之间。对于一些区域，除了满足基本的洁净度要求外，还需要考虑因素。应保持相对于相邻区域的负压，有害物质泄漏到其他区域。为确保洁净车间内各区域压差符合要求，应安装完善的压差监测系统。压差传感器安装在需要监测压差的区域之间，实时测量并传输压差数据到显示仪表。显示仪表能够直观地显示各区域间的压差值，方便操作人员了解车间内压差状况。通过合理调节通风系统的送风量和排风量，可以实现对各区域压差的控制。
4）温度、湿度:10万级无尘室对溫度、湿度无要求时，以穿着洁净服不产生舒适感为宜，温度一般控制在秋冬季20~22℃；春夏季24~26℃；波动±2℃。秋冬季洁净车间空气湿度控制在30-50%，春夏季洁净车间空气湿度控制在50-70%。
洁净室（区）的主要生产用地一般照度值宜≥300Lx；辅助工作室、人员洁净和物料洁净用室、气闸室、过道等的照度值宜为200~300Lx。