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无残留挥发性清洁剂开发
新一代无尘车间清洁剂采用氢氟醚（HFE）作为溶剂，其ODP（臭氧破坏潜能）为零，在常温下即可完全挥发。气相色谱检测显示，其挥发残留＜0.01mg/m³，远低于传统氟利昂类溶剂的50mg/m³。某航天实验室使用证明，该清洁剂对精密陀螺仪的清洁合格率达100%，且不会影响润滑剂性能。
为了保持十万级无尘车间的洁净度和性能，需要定期进行以下维护工作:定期更换过滤器:根据使用情况，定期更换过滤器，确保空气过滤效果。清洁和:定期对车间内的地面、墙壁、设备等进行清洁和，消除微生物污染。 监测和检测:安装尘埃粒子计数器等监测设备，定期检测车间内的洁净度，及时发现问题并进行处理。 培训和管理:加强对员工的培训和管理，提高他们的无尘意识，规范操作行为，减少人为污染。
开启机构:平移门采用磁悬浮轨道系统，运行噪音≤45dB，启闭速度可调范围0.3-1.2m/s。某晶圆厂实测数据表明，配备伺服电机的门体定位精度可达±0.5mm，重复定位误差不超过0.2mm。3、互锁系统:采用PLC控制的双门互锁装置，切换延迟时间可设置在5-30秒可调。某GMP车间案例中，系统集成压差传感器，当检测到压差异常时自动触发声光报警并锁定门体。 三、施工工艺的纳米级控制
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Class X (at Y μm )，At-rest供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在As-built时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如:Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built
指洁净室(区)已处于正常生产状态,设备在指定的方式下进行,并且有指定的人员按照规范操作。指洁净室(区)在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下,但是没有生产设备、原材料或人员的状态。通过以上释义，我们可以汇总如下表: 洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或洁净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。