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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
洁净厂房设计规范一、洁净厂房的定义 也叫无尘车间、洁净室(Clean Room）、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、灰尘等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。《洁净厂房设计规范》 GB50073-2013；《洁净室施工及验收规范》 GB50591-2010； 《工业洁净厂房设计规范》 GB50457-2008；
这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时，依然有的微粒控制能力。半导体行业洁净室案例图集1、 黄光车间多建在百级洁净区，千级洁净区也有涉及 2、半导体洁净室（高架地板）常应用于百级和千级区域
3、 常规半导体洁净室（洁净区:万级至十万级）
在当今的高科技产业中，无尘车间已经成为了一个重要的组成部分。它们被广泛应用于各种领域，包括电子、制、食品加工、医疗器械等。在这些领域中，十万级无尘车间以其的洁净度和的空气过滤系统，成为了一种理想的生产环境。本文将详细介绍十万级无尘车间的特点、应用以及维护方法。
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十万级无尘车间的定义与特点十万级无尘车间，又称为ISO 7级无尘车间，是指在每立方米空气中，0.5微米及以上粒径的尘埃粒子数量不超过10万个。这种级别的无尘车间可以有效地控制尘埃粒子对产品质量的影响，产品的纯净度和性。 十万级无尘车间的主要特点包括: 严格的空气过滤系统:采用过滤器（HEPA或ULPA），对空气中的尘埃粒子进行有效过滤，确保洁净度达到要求。温湿度控制:通过空调系统，对车间内的温湿度进行控制，以满足不同产品和工艺的要求。静电防护:采用防静电地板、墙壁和工作台等材料，减少静电产生，降低对电子产品等敏感设备的影响。 照明和噪音控制:使用无影灯和隔音材料，创造一个舒适的工作环境，提高员工的工作效率。 十万级无尘车间的应用
室内布要合理，避免交叉污染。设备布置应考虑操作便利性和维护方便。墙壁地面应采用不吸附粒子、易清洁的材料，如不锈钢、瓷砖等。严格控制进入无尘车间的人员。工作人员进入前需进行淋浴、更衣等程序，以去除身上的尘埃和微生物。同时，应定期对工作人员进行培训，提高其洁净意识。 物料进入无尘车间前需进行清洗、等处理，以降低粒子污染。同时，要控制物料的存储、搬运等环节，避免产生尘埃。无尘车间需控制温度、湿度、压差等环境参数。一般温度控制在18-22℃,湿度控制在40%60%.压尘控制可以外部污染物进入无尘车间。二、千级和百级无尘车间的区别 根据我国国家标准《洁净室》GB 50073-2013)洁净度等级分为千级、万级、十万级等。其中，千级无尘车间是指洁净度等级在1000粒子/立方米以下的洁净室；百级无尘车间是指洁净度等级在100粒子/立方米以下的洁净室。