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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
洁净车间装修需要遵循多个标准，以确保环境的洁净度和性。常用的标准是ISO 14644系列，这些标准定义了洁净室的分类、测试方法和监测要求，帮助确保空气中污染物的控制在可接受范围内。此外，根据行业的不同，可能还需遵循GMP（良好生产规范）等法规，尤其是在制、生物技术和食品行业，这些标准规定了生产过程中的卫生和质量控制要求。，在设计和施工过程中，确保材料和设备符合相关的国家和地方标准也是重要的，这可以通过与团队合作来实现。
无尘车间洁净标准: 洁净度标准按照不同等级的无尘车间，对应不同的粒子数量限制，具体如下:
十级洁净标准:每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.1μm之灰尘粒子不超过350颗，大于或等于0.3μm之灰尘粒子不超过30颗，大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过10颗。
百级洁净标准:每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.2μm之灰尘粒子不超过750颗，大于或等于0.3μm之灰尘粒子不超过300颗，大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过100颗。千级洁净标准:每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过1000颗，大于或等于5μm之灰尘粒子不超过7颗。 万级洁净标准:每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过10000颗，大于或等于5μm之灰尘粒子不超过70颗。
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精密的环境控制除了空气净化，无尘车间还需严格控制温湿度、静电、噪音、光照等环境因素。温湿度的稳定对于敏感材料和精密设备，静电控制则能避免微电子元件受损，而低噪音和适宜的光照条件则是人员工作效率的基础。这一切的调控，都需要的自动化系统和严格的操作规程来实现。
无尘车间的等级划分
根据标准ISO 14644-1，无尘车间被分为多个等级，如ISO 1级(干净)至ISO 9级(较不干净)。等级数字越小，表示空气中允许的粒子浓度越低，洁净度越高。例如，半导体芯片制造通常需要ISO 3级或更高标准的环境，而普通品生产可能适用ISO 7或8级标准。
6）噪声控制:一、动态检测时，万级无尘室内的噪音级不得超出70分贝A。
二、静态检测时，万级乱流无尘室的噪音级不能超出60分贝A。
7）送风方式:
气流组织10万级无尘室主要采用的送风方式有以下三种:
1、部孔板顶棚送风；
2、带扩散板空气过滤器顶棚送风；
3、上侧墙送风 等三种送风方式。