上饶仟级净化车间18年专业团队
无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
尘埃粒子高允许数(每立方米):大于等于0.5微米的不超过3500000个,大于等于5微米的不超过20000个; 2、微生物高允许数:浮游菌数量每立方米不得超过500个;每个培养皿的沉降菌数不得超过10个。 送风方式:(1)部孔板顶棚送风;(2)带扩散板空气过滤器顶棚送风;(3)上侧墙送风等三种送风方式。4、回风方式:(1)单侧墙下部布置回风口;(2)当采用过道回风时,在过道内均匀布置回风口或在过道端部集中设置回风口。
无尘车间的应用范围其广泛,几乎涵盖了对环境清洁度有严格要求的行业:- 半导体制造业:芯片的制造过程对尘埃其敏感,哪怕是一粒微尘也可能导致芯片失效。
- 生物制:在无菌环境下生产疫苗、抗体物,污染,确保品有效。
- 光电显示:如LCD、OLED屏幕的制造,微尘都会影响显示效果和产品寿命。
- 精密仪器制造:如高端光学镜头、航天航空器件等,对洁净度的要求高。
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物理灭菌:紫外灯(波长254nm)照射30分钟以上(人员撤离后)。重点关注区域:工作台面、门把手、传递窗。四、物料与设备管理 物料进出控制:物料通过传递窗(带双层互锁门)或灭菌隧道进入。外包装在缓冲间拆除,内包装需用酒精擦拭。 设备选型与维护:使用洁净室设备(如无尘工具、低发尘设备)。定期润滑、检修,机械磨损产生微粒。
、环境监测与数据分析实时监测系统:
(三)门窗安装 安装特制的气密门窗,确保无尘车间的气密性良好,外界污染物进入。 (四)通风管道与过滤器安装
安装通风管道和过滤器,确保空气流通顺畅,净化系统运行正常。此步骤需注意系统的密封性,避免外界污染物进入。
(五)照明与电力系统安装安装防尘防爆灯具,以及必要的电力线路和插座,确保无尘车间内有的照明和电力供应。电气布线时要采用低烟无卤电线电缆等具有良好阻燃性能的线缆,保障人员。