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无尘车间清洁剂的技术标准
无尘车间专用清洁剂需符合ISO 14644-1洁净度标准,其配方要求无颗粒脱落、低挥发性的特性。这类清洁剂通常采用超纯水作为基底,搭配非离子表面活性剂,确保在清洁过程中不会引入新的污染物。半导体行业使用的清洁剂还需通过SEMI认证,金属离子含量控制在ppb级(如钠、钾离子<1ppb)。实验数据显示,优质无尘车间清洁剂的残留量<0.1μg/cm²,远低于普通清洁剂的50μg/cm²,可有效维持Class 100洁净环境。
1 设计原则无尘车间的设计遵循严格的标准,确保能够有效地控制空气中的微粒含量。设计时需考虑以下几个关键因素: - 空气净化系统:采用过滤器(HEPA)和超过滤器(ULPA)来过滤空气中的微粒。 - 气流模式:根据车间的等级选择垂直层流或水平层流,确保空气以均匀的速度流动。
- 压力控制:维持正压环境,外部污染进入。
- 建筑材料:使用不易产生灰尘的材料,如不锈钢和抗静电材料。
无尘车间,也称为洁净厂房或洁净室(Clean Room),是为特定行业如半导体制造、生物医、精密机械等提供高度控制环境的设施。其主要功能在于排除一定空间内的微粒、有害空气及细菌等污染物,并对温湿度、压力、气流速度与分布、噪音振动及照明、静电等因素进行严格调控。为了确保无尘车间达到预期的清洁标准,施工过程遵循一系列严谨的步骤和规范。在正式开始施工之前,首先要进行的是需求分析与规划阶段。这一步骤涉及到明确无尘车间的具体用途,包括所需达到的清洁等级、生产工艺流程、人员和物料进出路线等。还需要考虑未来可能的扩展性和灵活性。根据这些需求,制定出详细的施工方案,以确保无尘车间的设计符合规定的标准和要求。
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指洁净室(区)已处于正常生产状态,设备在指定的方式下进行,并且有指定的人员按照规范操作。指洁净室(区)在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下,但是没有生产设备、原材料或人员的状态。通过以上释义,我们可以汇总如下表: 洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或洁净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
2 施工与维护无尘车间的施工需要精细操作,确保缝隙密封良好,避免灰尘积聚。此外,定期的维护与清洁也重要,包括更换过滤器、检查气流状况、以及进行必要的处理。 无尘车间因其的环境控制能力,在多个行业中发挥着重要作用: 3.1 半导体制造业
半导体芯片的制造过程中,即使是微小的颗粒也会导致电路短路或性能下降。因此,无尘车间在此领域的应用为重要,以确保芯片生产的高品质。