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无尘车间清洁剂的技术标准
无尘车间专用清洁剂需符合ISO 14644-1洁净度标准,其配方要求无颗粒脱落、低挥发性的特性。这类清洁剂通常采用超纯水作为基底,搭配非离子表面活性剂,确保在清洁过程中不会引入新的污染物。半导体行业使用的清洁剂还需通过SEMI认证,金属离子含量控制在ppb级(如钠、钾离子<1ppb)。实验数据显示,优质无尘车间清洁剂的残留量<0.1μg/cm²,远低于普通清洁剂的50μg/cm²,可有效维持Class 100洁净环境。
1 设计原则无尘车间的设计遵循严格的标准,确保能够有效地控制空气中的微粒含量。设计时需考虑以下几个关键因素: - 空气净化系统:采用过滤器(HEPA)和超过滤器(ULPA)来过滤空气中的微粒。 - 气流模式:根据车间的等级选择垂直层流或水平层流,确保空气以均匀的速度流动。
- 压力控制:维持正压环境,外部污染进入。
- 建筑材料:使用不易产生灰尘的材料,如不锈钢和抗静电材料。
GERMANYVDI 2083
JAPANJAOA(1989)100,000353,000
400,000
1,000,000
3,530,000
100,000 4,000,000
10,000,000
无尘车间(洁净室)等级说明
首先是等级定义的模式如下:
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十万级无尘车间在各个领域都有广泛的应用,以下是一些典型的例子:电子行业:用于半导体制造、集成电路封装、液晶显示器生产等,以产品的质量和性能。制行业:用于品的生产、包装和检验,确保品的性和有效性。 食品加工:用于食品的无菌包装和加工,微生物污染,延长食品的保质期。 医疗器械:用于医疗器械的生产和组装,确保产品的无菌性和性。
十万级无尘车间的维护方法
无尘车间技术(什么是无尘车间)通过无尘车间技术方面的各种设施和严格管理,使室内微粒子含量、气流、压力等也控制在一定范围内,这种房间空间称洁净室。
二、无尘车间技术的运用
1 微电子工业
微电子工业是当前对洁净室要求更高工业洁净业。此外,如现代工业中的液晶、光纤等的生产,同样均有洁净度的要求。
(1)品生产我国的《品生产管理规范》(又称GMP)已在全国范围内实施,对生产环境提出了相应于工艺过程的不同洁净级别要求。除了限定空气中尘埃粒子的大小和含量外,对生物粒子(细菌数)也有明确的限制。