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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
GERMANYVDI 2083
JAPANJAOA(1989)100,000353,000
400,000
1,000,000
3,530,000
100,000 4,000,000
10,000,000
无尘车间（洁净室）等级说明
首先是等级定义的模式如下:
十万级无尘室的标淮是指:1）尘埃粒子高允许数（每立方米）:
大或等于0.5微米的粒子数不能超出3500000个，大或等于5微米的粒子数不能超出20000个；
2）微生物高允许数:
浮游菌数不能超出500个每立方米；沉降菌数不能超出10个每培养皿。
相同洁净度等级的洁净车间压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻洁净车间之间压差要≥5Pa，洁净车间与非洁净车间之间要≥10Pa。
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4）温度、湿度:10万级无尘室对溫度、湿度无要求时，以穿着洁净服不产生舒适感为宜，温度一般控制在秋冬季20~22℃；春夏季24~26℃；波动±2℃。秋冬季洁净车间空气湿度控制在30-50%，春夏季洁净车间空气湿度控制在50-70%。
洁净室（区）的主要生产用地一般照度值宜≥300Lx；辅助工作室、人员洁净和物料洁净用室、气闸室、过道等的照度值宜为200~300Lx。
持续维护和监控:无尘车间的清洁度和稳定性需要持续的维护和监控。这包括定期检查车间的空气质量、设备运行状况以及环境参数等。总的来说,无尘车间在提高产品质量和生产效率方面具有明显的优势,但同时也面临着高昂的运营成本和严格的管理要求的挑战。在实际应用中,企业需要明确自身的需求,进行合理的规划和设计,并加强人员培训和管理,以确保无尘车间的正常运行和持续优化。无尘车间，又称净化车间、无尘室或洁净室，可以清除空气中的尘埃、微粒和有害气体，并控制温湿度、流明度等参数，以适应产品的生产环境，避免不良品率居高不下，从而达到批量生产要求。本文将介绍无尘车间的等级分类及洁净度标准。