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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
4)温度、湿度:10万级无尘室对溫度、湿度无要求时,以穿着洁净服不产生舒适感为宜,温度一般控制在秋冬季20~22℃;春夏季24~26℃;波动±2℃。秋冬季洁净车间空气湿度控制在30-50%,春夏季洁净车间空气湿度控制在50-70%。
洁净室(区)的主要生产用地一般照度值宜≥300Lx;辅助工作室、人员洁净和物料洁净用室、气闸室、过道等的照度值宜为200~300Lx。
此外,还可以监测温度、湿度和压力差等参数,以确保洁净室的环境条件处于控制范围内。定期进行这些测试可以帮助及时发现问题并采取纠正措施。,建议引入第三方检测机构进行验,确保检测结果的客观性和准确性。净化厂房的设计需要考虑国家和地方的建筑法规、环境保护法以及行业特定的标准和规范。例如,在制行业,遵循GMP标准,确保生产过程的卫生和。 此外,还需考虑消防、劳动和要求,确保新建厂房在设计阶段满足这些法规,以避免后期合规问题。
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“十万级无尘车间”表示“每立方米空气中直径大于等于0.5um的灰尘粒的数量少于10万个”。所谓十万级是指一英尺的空间内允许存在的0.5微米的尘埃粒子的个数在十万个以内。
1000-30万级净化室和100级以上的净化室不同,室处的气流是以不均匀的速度成不平行流动,伴有回流或涡流,它主要靠洁净的气流不断稀释室内的空气,将室内的污染逐渐排出,来实现净化。不同的净化等级,主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现。
8、温度、湿度:10万级无尘室对温度、湿度无要求时,以穿着洁净服不产生舒适感为宜,温度一般控制在秋冬季20~22℃;春夏季24~26℃;波动±2℃。秋冬季洁净车间空气湿度控制在30-50%,春夏季洁净车间空气湿度控制在50-70%。9、配电:洁净室(区)内主要生产用地的一般照度值应300 LX;辅助工作室、人员清洗和材料清洗室、气闸室、过道等的照度值。应该是200~300Lx。洁净车间的建设标准与标准规范!