银南仟级洁净车间专业装修设计
无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
（五）性能验与验收 进行性能验试验，包括粒子浓度测试、微生物测试等，确保无尘车间的各项性能符合设计要求。只有通过验收后，无尘车间才能正式投入使用。 为了保持无尘车间的良好状态，日常清洁、定期更换过滤器、检查设备运行情况等都是的工作。工作人员进入车间前经过风淋室，穿戴的防护服，以减少带入的污染物。
无尘车间的施工是一个复杂且精密的过程，它要求高度的知识和的执行。从需求分析到的验，每一个步骤都。只有遵循这些步骤，才能建造出一个、且的无尘车间，满足生产和研发的高标准要求。无尘车间，也可以称为洁净车间、洁净室、无尘室或清净室。无尘车间的主要功能为室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。无尘车间就是具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。
GERMANYVDI 2083
JAPANJAOA(1989)100,000353,000
400,000
1,000,000
3,530,000
100,000 4,000,000
10,000,000
无尘车间（洁净室）等级说明
首先是等级定义的模式如下:
银南仟级洁净车间专业装修设计
洁净厂房设计规范一、洁净厂房的定义 也叫无尘车间、洁净室(Clean Room）、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、灰尘等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。《洁净厂房设计规范》 GB50073-2013；《洁净室施工及验收规范》 GB50591-2010； 《工业洁净厂房设计规范》 GB50457-2008；
洁净车间的日常维护包括定期清洁和设备检查。清洁工作应由专门培训的人员进行，使用适合洁净室的清洁剂和工具，确保不会对洁净环境造成污染。此外，定期检查空气过滤系统和HVAC（暖通空调）设备，以确保其正常运作，对保持洁净度。维护记录应当详细记录，以便追踪和管理。评估洁净车间的空气质量通常需要进行颗粒物监测和空气质量检测。可以使用粒子计数器来测量空气中不同粒径的颗粒物浓度，确保其符合相应的洁净室等级标准。