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无尘车间清洁剂的技术标准
无尘车间专用清洁剂需符合ISO 14644-1洁净度标准,其配方要求无颗粒脱落、低挥发性的特性。这类清洁剂通常采用超纯水作为基底,搭配非离子表面活性剂,确保在清洁过程中不会引入新的污染物。半导体行业使用的清洁剂还需通过SEMI认证,金属离子含量控制在ppb级(如钠、钾离子<1ppb)。实验数据显示,优质无尘车间清洁剂的残留量<0.1μg/cm²,远低于普通清洁剂的50μg/cm²,可有效维持Class 100洁净环境。
洁净车间的日常维护包括定期清洁和设备检查。清洁工作应由专门培训的人员进行,使用适合洁净室的清洁剂和工具,确保不会对洁净环境造成污染。此外,定期检查空气过滤系统和HVAC(暖通空调)设备,以确保其正常运作,对保持洁净度。维护记录应当详细记录,以便追踪和管理。评估洁净车间的空气质量通常需要进行颗粒物监测和空气质量检测。可以使用粒子计数器来测量空气中不同粒径的颗粒物浓度,确保其符合相应的洁净室等级标准。
六、1000000级:0.1um浓度≤1000000,0.2um浓度≤237000,0.3um浓度≤102000,0.5um浓度≤35200,1.0um浓度≤8320,5.0um浓度≤293,该级别净化程度较低,主要应用于印刷厂、包装厂等对洁净度要求不高的行业。无尘车间等级划分主要根据换气次数,尘埃粒子、微生物的多少来划分。
1、1级:级的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的要求为亚微米。
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风量与换气次数不合适:根据ISO等级确定适当的风量和每小时换气次数,不同级别的无尘车间有不同的换气频率要求,级别越高,换气次数越多。送回风口布不合理:无尘车间设计的送风口和回风口位置不合理,通常送风口应位于天花板上方,回风口则设于地面附近,以便形成自上而下的层流效果。 部净化装置不足:对于某些关键工序区域,如高精度装配点,可以安装部净化设备,如层流罩或移动式净化台。
10000级:万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。6、100000级:十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、工业也常常使用这一级无尘车间。
7、300000级别:三十万级无尘车间级别较低,用于普通洁净区,如级别不高的走道。