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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
完备的消防及疏散设施。无尘室空间相对封闭，按照要求配置灭火系统,例如的排风排烟设施，灭火器和消火栓，以及疏散通道的通畅，否则在发生紧急情况时，人员无法及时疏散，相对普通车间会造成比较大的伤亡。只要无尘车间的各项措施做到位，对人体就没有什么大的伤害。一般的无尘车间对身体是没伤害的(食品厂和制厂)，无尘车间是通过空调系统，在送风、回风的循环过程中，通过机组里的过滤器，不断地将空气中的灰尘粒子过滤掉，根据无尘车间的用途不同，有些还会加入的装置来过滤细菌等微生物，比如食品厂和制厂。这个过程就是简单的过滤，并不涉及什么放射性物质，谈不上辐射。如果真有辐射，那也是无尘车间内的设备或者材料产生的辐射。
洁净车间作为高精度制造、生物医、食品加工等领域的核心生产环境，其建设需严格遵循多维度标准规范。以下从分级标准、设计施工、验收维护及行业适配四个维度展开解析: 一、洁净度分级标准 无尘车间的等级按照空气中微粒子浓度划分，常见等级从高到低依次为:一级、十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级。数字越小，洁净度要求越高。无尘车间的等级划分遵循标准 ISO 14644，该标准定义了洁净室的空气洁净度等级、测试方法及管理规范。不同行业(如制、电子)可能在此基础上制定更细化的要求(如GMP认)。
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1 设计原则无尘车间的设计遵循严格的标准，确保能够有效地控制空气中的微粒含量。设计时需考虑以下几个关键因素: - 空气净化系统:采用过滤器(HEPA)和超过滤器(ULPA)来过滤空气中的微粒。 - 气流模式:根据车间的等级选择垂直层流或水平层流，确保空气以均匀的速度流动。
- 压力控制:维持正压环境，外部污染进入。
- 建筑材料:使用不易产生灰尘的材料，如不锈钢和抗静电材料。
十万级无尘室的标淮是指:1）尘埃粒子高允许数（每立方米）:
大或等于0.5微米的粒子数不能超出3500000个，大或等于5微米的粒子数不能超出20000个；
2）微生物高允许数:
浮游菌数不能超出500个每立方米；沉降菌数不能超出10个每培养皿。
相同洁净度等级的洁净车间压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻洁净车间之间压差要≥5Pa，洁净车间与非洁净车间之间要≥10Pa。