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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
材料选择的致标准1、型材系统:采用航空级铝合金型材,经过阳氧化处理形成致密氧化膜,表面粗糙度需控制在Ra≤0.2μm。型材空腔设计采用多腔体结构,内置隔断形成气密屏障,同时填充高分子吸音材料以降低振动传导。某净化工程案例中,型材接缝处采用激光焊接技术,焊缝平整度误差不超过0.05mm。 2、玻璃配置:使用双层钢化Low-E玻璃,中间充填氩气层,传热系数≤1.5W/(㎡·K)。玻璃边缘需进行三边磨边处理,倒角精度要求±0.1mm,微颗粒积聚。某芯片工厂实测数据显示,采用12mm+12mm真空玻璃组合时,室内外压差50Pa条件下的空气泄漏量仅为0.01m3/(h·m)。
多参数–空气洁净度、细菌浓度以及空气的风量、压力、噪声、照度。保湿性能好:无尘车间强度高,隔热保温,可作天花围护布板材承重,抗弯抗压,通常洁净室比拟少用梁柱。
三、洁净性能好:
不会吸附尘埃,十分适用于净化车间墙体,,而且GMP无尘车间能达到一定的洁净度级别还不够,具有控制微粒污染、抵抗外界干扰的能力,体现在有一个合理的满足实用的自净时间。
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Class X (at Y μm )其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子:Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)Class 100(0.2μm , 0.5μm )Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。第二个技巧是规定无尘室的状态,例如:
6)噪声控制:一、动态检测时,万级无尘室内的噪音级不得超出70分贝A。
二、静态检测时,万级乱流无尘室的噪音级不能超出60分贝A。
7)送风方式:
气流组织10万级无尘室主要采用的送风方式有以下三种:
1、部孔板顶棚送风;
2、带扩散板空气过滤器顶棚送风;
3、上侧墙送风 等三种送风方式。