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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
微生物的大允许数量4、浮游菌数不得超过每立方米100个
5、沈隆菌数每培养皿不得超过3个
6、压差:相同洁净度等级的洁净室压差一定，不同洁净度等级的相邻洁净室之间的压差超过5Pa，洁净室与非洁净室之间超过10Pa。1万级洁净室对温度、湿度没有要求的情况下，好穿着干净的工作服，不要有舒适感，温度通常为冬季的20-22;夏天:24-26;波动2。洁净室的湿度冬季控制在30-50%，夏季控制在50-70%。
密封系统:采用三元乙丙橡胶(EPDM)复合密封条，在-40℃至120℃环境下保持弹性。门扇四周设置三级密封:主密封条压缩量≥30%，辅助密封条采用磁性密封结构，底部配备自动升降式扫地密封。某生物实验室的测试报告显示，这种配置可实现≥99.99%的0.3μm颗粒过滤效率。二、结构设计的精密计算 1、压力平衡设计:根据ASHRAE标准进流模拟计算，门扇需承受50Pa正负压差不变形。某项目采用有限元分析显示，当门扇尺寸达到2100×3000mm时，需在内部设置井字形加强筋，大挠度控制在L/1000以内。
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压差梯度维持:洁净区对非洁净区保持 正压（压差≥10Pa），核心区压力高。安装压差计实时监测，异常时自动报警并调整送/排风量。三、清洁与程序 日常清洁:使用无尘工具:超细纤维布、无脱落拖把、吸尘器（HEPA过滤）。清洁剂:中性无残留溶剂（如异丙醇），避免腐蚀设备。 频率:每日清洁地面、墙面；每周彻底清洁设备表面及。与灭菌化学:过氧化氢、季铵盐类，轮换使用以防耐性。
无尘车间的洁净度检测和验收主要依据《GB50073-2013 洁净厂房设计规范》和《GB50591-2010 洁净室施工及验收规范》进行。检测包括静态、空态和动态三种状态，具体如下:静态:洁净室在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下，没有生产人员或生产操作结束后的状态。动态:洁净室已处于正常生产状态，设备在指定的方式下进行，并且有指定的人员按照规范操作。空态:洁净室在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下，但没有生产设备、原材料或人员的状态。