南宁万级无菌室车间专业设计团队
无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质,包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留,工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统,配合pH值9.2的碱性清洁剂,使设备维护周期从每周延长至每月,TOC(总有机碳)含量始终控制在<5μg/L。
风量与换气次数不合适:根据ISO等级确定适当的风量和每小时换气次数,不同级别的无尘车间有不同的换气频率要求,级别越高,换气次数越多。送回风口布不合理:无尘车间设计的送风口和回风口位置不合理,通常送风口应位于天花板上方,回风口则设于地面附近,以便形成自上而下的层流效果。 部净化装置不足:对于某些关键工序区域,如高精度装配点,可以安装部净化设备,如层流罩或移动式净化台。
无尘车间,又称为洁净室,是控制粒子污染和温度湿度等环境条件的一种密封式洁净空间。在半导体制造、医生产、食品加工等行业中,无尘车间发挥着的作用。那么,怎样才能达到真正的“无尘”呢?本文将详细解析无尘车间的相关知识,并探讨千级和百级无尘车间的区别。
一、如何达到真正“无尘”?
空气过滤是无尘车间的重要组成部分。根据需要达到的洁净度等级,选择合适的风机和空气过滤装置。通常,无尘车间采用初中三级过滤系统。初级过滤器主要用于过滤较大的灰尘颗粒,如5.0μm以上的粒子;中级过滤器可过滤1.0μm以上的粒子;过滤器则能有效过滤0.3μm以下的微小粒子。2.洁净室设计 洁净室的设计包括气流组织、室内布、墙壁地面等。合理的气流组织可以洁净室内空气的均匀分布,降低污染物的浓度。一般采用乱流或联流方式进流组织。乱流方式气流速度较高,但适用于洁净度要求不高的场合;层流方式气流速度较低,但能有效控制粒子污染,适用于高洁净度要求的环境。
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Class X (at Y μm )其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子:Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)Class 100(0.2μm , 0.5μm )Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。第二个技巧是规定无尘室的状态,例如:
锂电池厂洁净车间与外界非洁净区域之间应保持一定的正压差,一般要求不低于10Pa。相邻不同洁净度等级区域之间应保持适当的压差,通常压差范围在5-15Pa之间。对于一些区域,除了满足基本的洁净度要求外,还需要考虑因素。应保持相对于相邻区域的负压,有害物质泄漏到其他区域。为确保洁净车间内各区域压差符合要求,应安装完善的压差监测系统。压差传感器安装在需要监测压差的区域之间,实时测量并传输压差数据到显示仪表。显示仪表能够直观地显示各区域间的压差值,方便操作人员了解车间内压差状况。通过合理调节通风系统的送风量和排风量,可以实现对各区域压差的控制。