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无尘车间清洁剂的安全标准
洁净室清洁剂需通过多项安全认证,包括NFPA 704危险品标识、RoHS 2.0等。其闪点要求>93℃,避免成为点火源。某Fab厂的事故分析显示,使用不含磷酸盐的清洁剂后,化学品伤害事件减少85%。所有清洁剂容器必须采用防漏设计,并通过72小时密封测试。
六、1000000级:0.1um浓度≤1000000,0.2um浓度≤237000,0.3um浓度≤102000,0.5um浓度≤35200,1.0um浓度≤8320,5.0um浓度≤293,该级别净化程度较低,主要应用于印刷厂、包装厂等对洁净度要求不高的行业。无尘车间等级划分主要根据换气次数,尘埃粒子、微生物的多少来划分。
1、1级:级的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的要求为亚微米。
完备的消防及疏散设施。无尘室空间相对封闭,按照要求配置灭火系统,例如的排风排烟设施,灭火器和消火栓,以及疏散通道的通畅,否则在发生紧急情况时,人员无法及时疏散,相对普通车间会造成比较大的伤亡。只要无尘车间的各项措施做到位,对人体就没有什么大的伤害。一般的无尘车间对身体是没伤害的(食品厂和制厂),无尘车间是通过空调系统,在送风、回风的循环过程中,通过机组里的过滤器,不断地将空气中的灰尘粒子过滤掉,根据无尘车间的用途不同,有些还会加入的装置来过滤细菌等微生物,比如食品厂和制厂。这个过程就是简单的过滤,并不涉及什么放射性物质,谈不上辐射。如果真有辐射,那也是无尘车间内的设备或者材料产生的辐射。
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洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。洁净度和控制污染的持续稳定性,是检验无尘车间质量的核心标准,该标准根据区域环境、洁净程度等因素,分为若干等级,常用的有标准和国内区域行业标准。 ISO14644-1标准—空气洁净度等级划分 空气洁净度等级(N)大于或等于所标粒径的粒子大浓度限值(空气粒子数个/立方米)ISO Class1 ISO Class2 ISO Class3
无尘车间的洁净度检测和验收主要依据《GB50073-2013 洁净厂房设计规范》和《GB50591-2010 洁净室施工及验收规范》进行。检测包括静态、空态和动态三种状态,具体如下:静态:洁净室在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下,没有生产人员或生产操作结束后的状态。动态:洁净室已处于正常生产状态,设备在指定的方式下进行,并且有指定的人员按照规范操作。空态:洁净室在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下,但没有生产设备、原材料或人员的状态。