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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
此外，电气系统的布应考虑到设备的维护和操作便利性，避免造成环境污染或影响洁净室的功能。在电气设计中，还应考虑应急电源的配置，以在停电情况下的设备正常运行和。在洁净车间内，废弃物的处理需要遵循严格的程序，以污染。首先，应将废弃物分类收集，是在生物医或电子行业中，需确保危险废物和普通废物分开处理。其次，废弃物应放置在的密闭容器中，并定期由公司进行处理和清运，以符合相关法规和行业标准，确保整体环境的洁净度不受影响。
（一）空气净化系统调试 启动空气净化系统，进行试运行，监测过滤器的性能，确保达到预定的清洁等级。 （二）温湿度控制调试
通过调整空调系统，确保无尘车间内的温湿度符合生产工艺要求。
（三）气流组织优化根据实际运行情况，优化气流组织，确保气流分布均匀，有效排除微粒。
（四）监控与检测系统校准
对监控与检测设备进行校准，确保数据准确。
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指洁净室(区)已处于正常生产状态,设备在指定的方式下进行,并且有指定的人员按照规范操作。指洁净室(区)在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下,但是没有生产设备、原材料或人员的状态。通过以上释义，我们可以汇总如下表: 洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或洁净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
6）噪声控制:一、动态检测时，万级无尘室内的噪音级不得超出70分贝A。
二、静态检测时，万级乱流无尘室的噪音级不能超出60分贝A。
7）送风方式:
气流组织10万级无尘室主要采用的送风方式有以下三种:
1、部孔板顶棚送风；
2、带扩散板空气过滤器顶棚送风；
3、上侧墙送风 等三种送风方式。