山西万级万级净化系统设计施工总包一站式服务
光学级无尘清洁剂的应用
光学元件清洁剂需满足"零划伤"要求,其配方不含任何研磨颗粒。采用超临界CO2清洗技术时,配合特种氟系溶剂可达到原子级清洁度。某镜头制造商的数据显示,使用低表面张力(18mN/m)的光学清洁剂后,镜片不良率从500PPM降至20PPM。这类产品通常通过NASA标准测试,确保在太空环境中不会挥发或结晶。
1000级:0.1um浓度≤1000,0.2um浓度≤237,0.3um浓度≤102,0.5um浓度≤35,1.0um浓度≤8,该级别应用于生产微型轴、光学器件。10000级:0.1um浓度≤10000,0.2um浓度≤2370,0.3um浓度≤1020,0.5um浓度≤352,1.0um浓度≤83,该级别应用于生产液压设备或食品饮料。五、100000级:0.1um浓度≤100000,0.2um浓度≤23700,0.3um浓度≤10200,0.5um浓度≤3520,1.0um浓度≤832,5.0um浓度≤29,该级别应用于很多工业领域。
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35,200,000
8,320,000
293,000
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平
GB50073-2013 国家标准—空气洁净度等级空气洁净度等级(N) 大于或等于表中粒径的大浓度限值(pc/m³)
9(一百万级) 中国GMP(2010年修订)新版GMP附录1 无菌品.第三章.第九条……洁净区各级别空气悬浮粒子的标准规定如下
检测验的严苛流程1、气密性测试:采用ISO 14644-3标准,在50Pa压差下扫描检测,泄漏率≤0.01%vol/h。某存储芯片项目的测试报告记载,使用氦质谱检漏仪检测时,门系统整体泄漏量 2、洁净度验:依据GB 50073-2013标准,在动态运行状态下检测。数据显示,安装净化门窗后,操作区0.1μm粒径的悬浮粒子浓度≤10个/m3。 3、耐久性试验:模拟10万次启闭循环后,门扇下垂量≤1.5mm,密封性能衰减率≤5%。某跨国企业的企业标准要求,关键部件需通过MTBF(平均无故障时间)≥50万次的认。