唐山百级净化车间18年专业团队
无尘车间清洁剂的技术标准
无尘车间专用清洁剂需符合ISO 14644-1洁净度标准,其配方要求无颗粒脱落、低挥发性的特性。这类清洁剂通常采用超纯水作为基底,搭配非离子表面活性剂,确保在清洁过程中不会引入新的污染物。半导体行业使用的清洁剂还需通过SEMI认证,金属离子含量控制在ppb级(如钠、钾离子<1ppb)。实验数据显示,优质无尘车间清洁剂的残留量<0.1μg/cm²,远低于普通清洁剂的50μg/cm²,可有效维持Class 100洁净环境。
Class X (at Y μm )其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子:Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)Class 100(0.2μm , 0.5μm )Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。第二个技巧是规定无尘室的状态,例如:
完备的消防及疏散设施。无尘室空间相对封闭,按照要求配置灭火系统,例如的排风排烟设施,灭火器和消火栓,以及疏散通道的通畅,否则在发生紧急情况时,人员无法及时疏散,相对普通车间会造成比较大的伤亡。只要无尘车间的各项措施做到位,对人体就没有什么大的伤害。一般的无尘车间对身体是没伤害的(食品厂和制厂),无尘车间是通过空调系统,在送风、回风的循环过程中,通过机组里的过滤器,不断地将空气中的灰尘粒子过滤掉,根据无尘车间的用途不同,有些还会加入的装置来过滤细菌等微生物,比如食品厂和制厂。这个过程就是简单的过滤,并不涉及什么放射性物质,谈不上辐射。如果真有辐射,那也是无尘车间内的设备或者材料产生的辐射。
唐山百级净化车间18年专业团队
1 设计原则无尘车间的设计遵循严格的标准,确保能够有效地控制空气中的微粒含量。设计时需考虑以下几个关键因素: - 空气净化系统:采用过滤器(HEPA)和超过滤器(ULPA)来过滤空气中的微粒。 - 气流模式:根据车间的等级选择垂直层流或水平层流,确保空气以均匀的速度流动。
- 压力控制:维持正压环境,外部污染进入。
- 建筑材料:使用不易产生灰尘的材料,如不锈钢和抗静电材料。
悬浮粒子数大允许数/m3
近似对应传统洁净度
10,000级100,000级各国洁净度等级近似对照表
个 / M ≥0.5um
ISO14644-1(1999)
US209E(1992) US209D(1988)
EECcGMP(1989)
FRANCEAFNOR(1981)