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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
（三）门窗安装 安装特制的气密门窗，确保无尘车间的气密性良好，外界污染物进入。 （四）通风管道与过滤器安装
安装通风管道和过滤器，确保空气流通顺畅，净化系统运行正常。此步骤需注意系统的密封性，避免外界污染物进入。
（五）照明与电力系统安装安装防尘防爆灯具，以及必要的电力线路和插座，确保无尘车间内有的照明和电力供应。电气布线时要采用低烟无卤电线电缆等具有良好阻燃性能的线缆，保障人员。
无尘车间，又称为洁净室，是控制粒子污染和温度湿度等环境条件的一种密封式洁净空间。在半导体制造、医生产、食品加工等行业中，无尘车间发挥着的作用。那么，怎样才能达到真正的“无尘”呢？本文将详细解析无尘车间的相关知识，并探讨千级和百级无尘车间的区别。
一、如何达到真正“无尘”?
空气过滤是无尘车间的重要组成部分。根据需要达到的洁净度等级，选择合适的风机和空气过滤装置。通常，无尘车间采用初中三级过滤系统。初级过滤器主要用于过滤较大的灰尘颗粒，如5.0μm以上的粒子；中级过滤器可过滤1.0μm以上的粒子；过滤器则能有效过滤0.3μm以下的微小粒子。2.洁净室设计 洁净室的设计包括气流组织、室内布、墙壁地面等。合理的气流组织可以洁净室内空气的均匀分布，降低污染物的浓度。一般采用乱流或联流方式进流组织。乱流方式气流速度较高，但适用于洁净度要求不高的场合；层流方式气流速度较低，但能有效控制粒子污染，适用于高洁净度要求的环境。
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洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。洁净度和控制污染的持续稳定性，是检验无尘车间质量的核心标准，该标准根据区域环境、洁净程度等因素，分为若干等级，常用的有标准和国内区域行业标准。 ISO14644-1标准—空气洁净度等级划分 空气洁净度等级(N)大于或等于所标粒径的粒子大浓度限值（空气粒子数个/立方米）ISO Class1 ISO Class2 ISO Class3
FFU风机过滤器机组可模块化连接使用，使得FFU风机过滤器机组广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和层流罩等应用场合。无尘车间主要应用在微电子、光电子、电子材料、仪器仪表、精密机械、制及生物工程、饮料、食品、化妆品、医疗卫生(洁净手术室及实验室)；航空、印刷包装、航天及军事科学等行业或领域。 1.洁净度环境不同 2.隔热保温保湿不同人员污染控制不同4.高强抗压不同 5.过滤送风设备不同 6.地板选材不同