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无尘车间设备专用清洁剂
洁净室设备清洁剂需兼容多种材质，包括不锈钢、阳极氧化铝和防静电涂层。酶解型清洁剂能有效分解设备表面的有机残留，工作温度可低至5℃仍保持活性。某晶圆厂采用的在线清洗系统，配合pH值9.2的碱性清洁剂，使设备维护周期从每周延长至每月，TOC（总有机碳）含量始终控制在＜5μg/L。
10000级:万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配，某些情况下也用于食品饮料工业，此外，万级无尘车间在医工业中也很常用。6、100000级:十万级无尘车间用于很多的工业部门，比如光学产品的制造，用于较小的元器件制造大型的电子系统，液压或气压系统的制造，食品饮料的生产，医、工业也常常使用这一级无尘车间。
7、300000级别:三十万级无尘车间级别较低，用于普通洁净区，如级别不高的走道。
清洁无尘净化车间里面的墙壁时要使用无尘净化车间无尘布;使用已获批准的无尘车间去污剂，也可以自己配置(deploy)用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂;2、清洁无尘净化车间的地面时要使用拖把;
3、每天巡查车间和整备间的垃圾箱，需及时把垃圾清走;
4、每块地板都要吸尘。每次交接班的时候，应在地图上标注工作完成的情况，例如 哪结束从哪开始;
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安装通风管道通风管道要根据车间的大小来选择，材料要选择渡锌板制作，在剪裁要做到严丝合缝，要确保材料无孔洞，经久耐用。
地面施工重要，无尘车间地面一般是环氧自流坪和塑料PVC地板。因为这两种材料不容易起灰尘，而且防静电。
1、尘粒的大允许数量
2、0.5微米以上的粒子数不得超过350000个，5微米以上的粒子数不得超过2000个
Class X (at Y μm )，At-rest供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在As-built时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如:Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built